[實用新型]一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220696404.9
• 申請日: 2022-03-29
• 公開（公告）號: CN217303807U
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王凡
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波寶芯源功率半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06;B25B11/00
• 代理公司: 上海互順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31332
• 代理人: 韋志剛;曹月明

本實用新型屬于光刻掩模版鉻膜測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，包括支撐座，所述支撐座正面右側(cè)的上下方均固定安裝有支撐架，所述支撐架的數(shù)量為兩個，兩個所述支撐架的內(nèi)部之間固定套接有矩形塊。本實用新型通過設(shè)置活動塊、驅(qū)動電機和推動塊，由于驅(qū)動電機的運行，將會使得轉(zhuǎn)軸發(fā)生轉(zhuǎn)動，進而帶動推動塊整體發(fā)生轉(zhuǎn)動，從而會使得推動軸在長槽的內(nèi)部活動，然后推動活動塊和測量框架整體向上運動，最終第二卡塊和第一卡塊之間將會對光刻掩模版鉻膜進行接觸，對隨后通過卡尺進行讀數(shù)，從而實現(xiàn)了自動測量作業(yè)，操作方便快捷，不僅減輕了操作人員的勞動強度，同時也加快了測量效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于光刻掩模版鉻膜測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置。

背景技術(shù)

光刻掩模版鉻膜在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)，掩膜版應(yīng)用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版。

目前，操作人員在對光刻掩模版鉻膜的厚度進行測量時，經(jīng)常會用到厚度測量裝置，從而可以很好的對光刻掩模版鉻膜的厚度進行測量讀數(shù)，但是現(xiàn)有的測量裝置，一般需要操作人員手動進行調(diào)節(jié)讀數(shù)，操作繁瑣復(fù)雜，不僅加重了操作人員的勞動強度，也降低了測量的效率。

并且，現(xiàn)有的測量裝置一般都會設(shè)有固定放置光刻掩模版鉻膜的結(jié)構(gòu)，從而便于后續(xù)的測量作業(yè)，但是現(xiàn)有的自動化低，需要人手動放置夾緊，操作耗時費力，給操作人員的作業(yè)使用帶來了不便，因此需要對其進行改進。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是針對以上問題，本實用新型提供了一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，具有自動測量和自動夾緊固定的優(yōu)點。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，包括支撐座，所述支撐座正面右側(cè)的上下方均固定安裝有支撐架，所述支撐架的數(shù)量為兩個，兩個所述支撐架的內(nèi)部之間固定套接有矩形塊，所述矩形塊正面內(nèi)部的中部固定安裝有卡尺，所述矩形塊左側(cè)的頂部固定安裝有位于支撐架之間的第一卡塊，所述支撐座的正面開設(shè)有位于矩形塊背面中部的矩形槽，所述支撐座的內(nèi)部開設(shè)有位于矩形槽背面的活動腔，所述矩形塊的外表面活動套接有位于第一卡塊下方的測量框架，所述測量框架的后端穿過矩形槽并延伸至矩形槽內(nèi)部的后端，所述測量框架的左側(cè)固定安裝有位于支撐座外部的第二卡塊，所述測量框架的后端固定安裝有位于活動腔內(nèi)部的活動塊，所述活動塊的外表面與活動腔的內(nèi)壁活動連接，所述活動塊的內(nèi)部開設(shè)有長槽，所述支撐座的內(nèi)部固定安裝有位于活動腔頂部背面的驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機輸出軸的另一端固定套接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的另一端依次貫穿支撐座和活動腔并延伸至活動腔的內(nèi)部且外表面活動套接有推動塊，所述推動塊的外表面與活動腔的內(nèi)壁活動連接，所述推動塊另一端的正面固定安裝有位于長槽內(nèi)部的推動軸，所述推動軸的外表面與長槽的內(nèi)壁活動連接。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐座正面的左側(cè)開設(shè)有位于第一卡塊兩側(cè)的限位槽，所述支撐座的內(nèi)部開設(shè)有位于限位槽背面的空腔，所述限位槽的內(nèi)部活動安裝有支撐卡塊，所述支撐卡塊的正面穿過限位槽并延伸至支撐座的外部，所述支撐卡塊的數(shù)量為兩個，兩個所述支撐卡塊前端的相對應(yīng)面均開設(shè)有卡口，由于兩個卡口的設(shè)計，從而方便了操作人員對光刻掩模版鉻膜進行夾緊固定。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐卡塊的背面固定安裝有位于空腔內(nèi)部的活動板，所述活動板的外表面與空腔的內(nèi)壁活動連接，由于限位槽的設(shè)計，將會對支撐卡塊和活動板整體活動起到了良好的限位作用。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐座的內(nèi)部固定安裝有位于空腔左上方的動力電機，所述動力電機輸出軸的另一端固定套接有螺紋桿，所述螺紋桿的底端與空腔的內(nèi)壁活動套接，所述螺紋桿的外表面螺紋套接有移動塊，由于動力電機的運行，將會使得螺紋桿轉(zhuǎn)動，從而帶動移動塊整體發(fā)生上下位置活動。