[實用新型]一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置

有效

• 申請號: 202220696404.9
• 申請日: 2022-03-29
• 公開（公告）號: CN217303807U
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 王凡
• 申請（專利權）人: 寧波寶芯源功率半導體有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06;B25B11/00
• 代理公司: 上海互順專利代理事務所(普通合伙) 31332
• 代理人: 韋志剛;曹月明

1.一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，包括支撐座(1)，其特征在于：所述支撐座(1)正面右側的上下方均固定安裝有支撐架(2)，所述支撐架(2)的數量為兩個，兩個所述支撐架(2)的內部之間固定套接有矩形塊(3)，所述矩形塊(3)正面內部的中部固定安裝有卡尺(4)，所述矩形塊(3)左側的頂部固定安裝有位于支撐架(2)之間的第一卡塊(5)，所述支撐座(1)的正面開設有位于矩形塊(3)背面中部的矩形槽(6)，所述支撐座(1)的內部開設有位于矩形槽(6)背面的活動腔(7)，所述矩形塊(3)的外表面活動套接有位于第一卡塊(5)下方的測量框架(8)，所述測量框架(8)的后端穿過矩形槽(6)并延伸至矩形槽(6)內部的后端，所述測量框架(8)的左側固定安裝有位于支撐座(1)外部的第二卡塊(9)，所述測量框架(8)的后端固定安裝有位于活動腔(7)內部的活動塊(10)，所述活動塊(10)的外表面與活動腔(7)的內壁活動連接，所述活動塊(10)的內部開設有長槽(11)，所述支撐座(1)的內部固定安裝有位于活動腔(7)頂部背面的驅動電機(12)，所述驅動電機(12)輸出軸的另一端固定套接有轉軸(13)，所述轉軸(13)的另一端依次貫穿支撐座(1)和活動腔(7)并延伸至活動腔(7)的內部且外表面活動套接有推動塊(14)，所述推動塊(14)另一端的正面固定安裝有位于長槽(11)內部的推動軸(15)。

2.根據權利要求1所述的一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，其特征在于：所述支撐座(1)正面的左側開設有位于第一卡塊(5)兩側的限位槽(16)，所述支撐座(1)的內部開設有位于限位槽(16)背面的空腔(17)，所述限位槽(16)的內部活動安裝有支撐卡塊(18)，所述支撐卡塊(18)的正面穿過限位槽(16)并延伸至支撐座(1)的外部，所述支撐卡塊(18)的數量為兩個，兩個所述支撐卡塊(18)前端的相對應面均開設有卡口。

3.根據權利要求2所述的一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，其特征在于：所述支撐卡塊(18)的背面固定安裝有位于空腔(17)內部的活動板(19)，所述活動板(19)的外表面與空腔(17)的內壁活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，其特征在于：所述支撐座(1)的內部固定安裝有位于空腔(17)左上方的動力電機(20)，所述動力電機(20)輸出軸的另一端固定套接有螺紋桿(21)，所述螺紋桿(21)的底端與空腔(17)的內壁活動套接，所述螺紋桿(21)的外表面螺紋套接有移動塊(22)。

5.根據權利要求2所述的一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，其特征在于：所述空腔(17)內部的后端活動安裝有位于活動板(19)之間的運動塊(24)，移動塊(22)的右側外表面鉸接有長板(23)，所述長板(23)的另一端與運動塊(24)的左側外表面鉸接。

6.根據權利要求5所述的一種光刻掩模版鉻膜厚度測量裝置，其特征在于：所述運動塊(24)的上下兩端均鉸接有推動板(25)，所述推動板(25)的另一端與活動板(19)的內側外表面鉸接。