[實用新型]一種單晶硅檢測臺裝置有效

申請號：	202220656154.6	申請日：	2022-03-24
公開（公告）號：	CN216815391U	公開（公告）日：	2022-06-24
發明（設計）人：	孟軍剛;李東浩	申請（專利權）人：	北京森沃克萊科技有限公司
主分類號：	G01B21/00	分類號：	G01B21/00;H01L21/66
代理公司：	北京一枝筆知識產權代理事務所(普通合伙) 11791	代理人：	李德志
地址：	100070 北京市***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種單晶硅檢測裝置
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【說明書】：

本實用新型屬于單晶硅檢測臺技術領域，尤其是一種單晶硅檢測臺裝置，針對目前生產上使用的檢測平臺功能比較簡單，不能準確定位，不適合自動尺寸檢測設備，不適合機器人自動上下料應用，檢測臺表面都是裸露的金屬，容易劃傷晶棒，各工位是否有晶棒不能進行識別的問題，現提出如下方案，其包括檢測平臺支架，檢測平臺支架上設置有伺服移栽機構，伺服移栽機構上連接有升降氣缸，升降氣缸上連接有夾緊氣缸，夾緊氣缸之間設置有單晶硅棒，檢測平臺支架上設置有對射傳感器和聚氨酯支撐條。本實用新型可以實現整個加工設備晶棒上下料和檢測過程的完全自動化，提高了工作效率并，且有效保護了工作人員不受傷害。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅檢測臺技術領域，尤其涉及一種單晶硅檢測臺裝置。

背景技術

目前單晶硅電池片制備，第一步是拉成圓形晶棒，第二步是圓棒切方，按照尺寸要求將單晶硅棒切割成方棒，然后將方棒的四個棱邊磨倒角，最后進行切片刻蝕等工藝。在開方和磨倒之后，一般由機器人進行上下料，并需要測量晶棒工件的尺寸是否符合要求，目前都是機器人下料后，把晶棒放到一個簡易平臺上，在由人工搬走，用各種量具進行尺寸檢測，如果設計專用設備對晶棒進行尺寸檢測，則需要一個檢測平臺，機器人把晶棒放到檢測平臺上，平臺上的機構對晶棒進行找正定位，并把晶棒輸送到檢測工位，保證晶棒位置坐標，才能實現晶棒的全自動尺寸檢測，檢測完成的晶棒，在由伺服移栽機構送到機器人下料工位。

目前生產上使用的檢測平臺功能比較簡單，不能準確定位，不適合自動尺寸檢測設備，不適合機器人自動上下料應用，檢測臺表面都是裸露的金屬，容易劃傷晶棒，各工位是否有晶棒不能進行識別。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決目前生產上使用的檢測平臺功能比較簡單，不能準確定位，不適合自動尺寸檢測設備，不適合機器人自動上下料應用，檢測臺表面都是裸露的金屬，容易劃傷晶棒，各工位是否有晶棒不能進行識別的缺點，而提出的一種單晶硅檢測臺裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種單晶硅檢測臺裝置，包括檢測平臺支架，檢測平臺支架上設置有伺服移栽機構，伺服移栽機構上連接有升降氣缸，升降氣缸上連接有夾緊氣缸，夾緊氣缸之間設置有單晶硅棒，檢測平臺支架上設置有對射傳感器和聚氨酯支撐條。

優選的，所述檢測平臺支架的底部安裝有四個支撐腿，四個支撐腿的底部均設置有膠墊。

優選的，所述伺服移栽機構包括兩個傳動輪，兩個傳動輪均轉動安裝在檢測平臺支架的中心位置，兩個傳動輪的外側傳動連接有同一個傳動帶，檢測平臺支架上設置有傳動電機，傳動電機的輸出軸與一個傳動輪相連。

優選的，所述升降氣缸設置在傳動帶的外側，滾輪支撐面為多個且設置在升降氣缸的輸出端。

優選的，所述夾緊氣缸包括氣缸和兩個夾持手臂，單晶硅棒位于兩個夾持手臂之間，單晶硅棒位于滾輪支撐面的頂部。

優選的，所述聚氨酯支撐條為多個且均勻排布設置在檢測平臺支架的頂部，對射傳感器為多個且設置在聚氨酯支撐條的頂部。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

本方案檢測臺表面裝有聚氨酯支撐條，防止對晶棒表面的劃傷。