[實(shí)用新型]一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220656154.6
• 申請(qǐng)日: 2022-03-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216815391U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟軍剛;李東浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京森沃克萊科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京一枝筆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11791
• 代理人: 李德志

1.一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，包括檢測(cè)平臺(tái)支架(2)，其特征在于，所述檢測(cè)平臺(tái)支架(2)上設(shè)置有伺服移栽機(jī)構(gòu)(1)，伺服移栽機(jī)構(gòu)(1)上連接有升降氣缸(6)，升降氣缸(6)上連接有夾緊氣缸(3)，夾緊氣缸(3)之間設(shè)置有單晶硅棒(4)，檢測(cè)平臺(tái)支架(2)上設(shè)置有對(duì)射傳感器(7)和聚氨酯支撐條(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)平臺(tái)支架(2)的底部安裝有四個(gè)支撐腿(21)，四個(gè)支撐腿(21)的底部均設(shè)置有膠墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，其特征在于，所述伺服移栽機(jī)構(gòu)(1)包括兩個(gè)傳動(dòng)輪(11)，兩個(gè)傳動(dòng)輪(11)均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在檢測(cè)平臺(tái)支架(2)的中心位置，兩個(gè)傳動(dòng)輪(11)的外側(cè)傳動(dòng)連接有同一個(gè)傳動(dòng)帶(12)，檢測(cè)平臺(tái)支架(2)上設(shè)置有傳動(dòng)電機(jī)(13)，傳動(dòng)電機(jī)(13)的輸出軸與一個(gè)傳動(dòng)輪(11)相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，其特征在于，所述升降氣缸(6)設(shè)置在傳動(dòng)帶(12)的外側(cè)，滾輪支撐面(5)為多個(gè)且設(shè)置在升降氣缸(6)的輸出端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，其特征在于，所述夾緊氣缸(3)包括氣缸和兩個(gè)夾持手臂，單晶硅棒(4)位于兩個(gè)夾持手臂之間，單晶硅棒(4)位于滾輪支撐面(5)的頂部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅檢測(cè)臺(tái)裝置，其特征在于，所述聚氨酯支撐條(8)為多個(gè)且均勻排布設(shè)置在檢測(cè)平臺(tái)支架(2)的頂部，對(duì)射傳感器(7)為多個(gè)且設(shè)置在聚氨酯支撐條(8)的頂部。