[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺裝置

有效

• 申請號: 202220651501.6
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN217009115U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 戴玉潔;常林;趙復慶;郭娟娟;胡磊
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 北京元本知識產權代理事務所(普通合伙) 11308
• 代理人: 王健

本實用新型提供一種掃描電鏡樣品臺裝置，所述掃描電鏡樣品臺裝置包括第一樣品臺體、第二樣品臺體和標尺，所述第一樣品臺體通過四個金屬柱與所述第二樣品臺體活動連接，所述金屬柱的外側繞有彈簧，所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體對應分別開設有第一螺孔和第二螺孔，螺絲通過第一螺孔和第二螺孔固定所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體，所述第二樣品臺體的上端設有標尺卡槽，用來放置對應的標尺。本實用新型通過旋轉貫穿第一樣品臺體和第二樣品臺體的螺絲來調節樣品臺的升降，來適應不同高度樣品的安放，并聯合使用標尺來實現樣品在光鏡?電鏡下同一位置的定位觀察。

技術領域

本實用新型涉及一種掃描電鏡樣品臺，特別是涉及一種掃描電鏡樣品臺裝置。

背景技術

掃描電鏡是一種觀察材料微觀形貌(微米、納米尺度)、分析材料成分(元素組成和質量分數)的大型分析儀器，廣泛應用于材料學、化學、環境科學、地球化學、生命科學等眾多學科領域。在日常實驗中，常需要在光鏡下初步觀察確認樣品，進而在掃描電鏡下尋找觀察樣品，因光鏡成像基于光的反射和透射，掃描電鏡接收二次電子進行成像，導致同一樣品的光鏡、電鏡圖像差異較大，容易產生光鏡下找到樣品后在電鏡下無法快速定點定位同一位置的問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種掃描電鏡樣品臺裝置，實現了對同一樣品同一位置在光鏡和電鏡下分別進行快速定位和觀察。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

一種掃描電鏡樣品臺裝置，所述掃描電鏡樣品臺裝置包括第一樣品臺體、第二樣品臺體和標尺，所述第一樣品臺體通過四個金屬柱與所述第二樣品臺體活動連接，所述金屬柱的外側繞有彈簧，所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體對應分別開設有第一螺孔和第二螺孔，螺絲通過第一螺孔和第二螺孔固定所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體，所述第二樣品臺體的上端設有標尺卡槽，用來放置標尺。

作為優選的技術方案，通過所述凹槽安裝所述標尺。

作為優選的技術方案，所述標尺的一面設置有坐標。

作為優選的技術方案，所述標尺采用玻璃或石英材質。

作為優選的技術方案，所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體均為長方體狀。

作為優選的技術方案，所述第一樣品臺體通過四個帶有彈簧的金屬柱連接所述第二樣品臺體。

作為優選的技術方案，所述第一樣品臺體和第二樣品臺體開有螺孔，由一根螺絲貫穿連接，旋轉螺絲可以控制樣品臺升降。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：本實用新型通過第一樣品臺體和第二樣品臺體的活動來實現升降，并聯合使用標尺來實現樣品在光鏡-電鏡下同一位置的定位觀察。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。在所有附圖中，類似的元件或部分一般由類似的附圖標記標識。附圖中，各元件或部分并不一定按照實際的比例繪制。

圖1示出了本實用新型實施例的一種樣品臺裝置的立體圖。

圖2示出了根據本實用新型實施例的一種樣品臺裝置的標尺的立體圖。

圖中，1為第一樣品臺體，2為第二樣品臺體，3為金屬柱，4為彈簧，5為第一螺孔，6為第二螺孔，7為螺絲，8為坐標，9為標尺卡槽。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。