[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺裝置

有效

• 申請號: 202220651501.6
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN217009115U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 戴玉潔;常林;趙復慶;郭娟娟;胡磊
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 北京元本知識產權代理事務所(普通合伙) 11308
• 代理人: 王健

1.一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述掃描電鏡樣品臺裝置包括第一樣品臺體、第二樣品臺體和標尺，所述第一樣品臺體通過四個金屬柱與所述第二樣品臺體活動連接，所述金屬柱的外側繞有彈簧，所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體對應分別開設有第一螺孔和第二螺孔，螺絲通過第一螺孔和第二螺孔固定所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體，所述第二樣品臺體的上端設有標尺卡槽。

2.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，通過所述標尺卡槽安裝所述標尺。

3.根據權利要求1或2所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述標尺的一面設置有坐標。

4.根據權利要求3所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述標尺采用玻璃或石英材質。

5.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述第一樣品臺體和所述第二樣品臺體均為長方體狀。

6.根據權利要求1或5所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述第一樣品臺體通過四個帶有彈簧的金屬柱連接所述第二樣品臺體。

7.根據權利要求1或5所述的一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，所述第一樣品臺體和第二臺體開設有螺孔，由一根螺絲貫穿連接第一樣品臺體和第二臺體。