[實(shí)用新型]一種基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202220639921.2 | 申請(qǐng)日: | 2022-03-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN216979589U | 公開(公告)日: | 2022-07-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 董坤;桂成群;薛兆豐;劉星宇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 矽萬(上海)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/20 | 分類號(hào): | G03F7/20;B05D7/04;B05D7/24;B05D5/00;B05D3/06;B05D1/00 |
| 代理公司: | 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 31307 | 代理人: | 丁利華 |
| 地址: | 200131 上海市浦東新區(qū)自由*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 激光 光刻 技術(shù) 抗菌 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,包括聚酯薄膜層及粘附于所述聚酯薄膜層上的紫外光固化膠水層,所述紫外光固化膠水層由正視為長(zhǎng)六邊形、第一矩形、第二矩形的三種形狀周期性排列而成,所述第一矩形的尺寸大于所述第二矩形的尺寸,
其中,所述長(zhǎng)六邊形由兩條長(zhǎng)邊及四條斜邊構(gòu)成,所述長(zhǎng)邊與所述斜邊形成135°,兩條相鄰斜邊均形成90°,所述長(zhǎng)六邊形沿長(zhǎng)邊的正交方向?yàn)樾蟹较颉㈤L(zhǎng)邊方向?yàn)榱蟹较蜻M(jìn)行排列,每行各相鄰長(zhǎng)六邊形之間分別設(shè)置一個(gè)所述第一矩形,列方向上相鄰的兩個(gè)所述長(zhǎng)六邊形在行方向上錯(cuò)開一定距離,相鄰行的兩個(gè)長(zhǎng)六邊形的相對(duì)的兩條斜邊平行且所述兩條斜邊之間分別設(shè)置一個(gè)所述第二矩形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,所述聚酯薄膜層的厚度為3微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,紫外光固化膠水層的厚度均為2微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,所述長(zhǎng)六邊形的長(zhǎng)邊為12微米,斜邊為10.39微米。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,每行各相鄰長(zhǎng)六邊形之間的間距為24微米。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一矩形的長(zhǎng)為12微米,寬為6微米,所述第一矩形的長(zhǎng)邊與所述長(zhǎng)六邊形的長(zhǎng)邊之間的最小間隙為3微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于激光直寫光刻技術(shù)的抗菌結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二矩形的長(zhǎng)為8.5微米,寬4.2微米,所述第二矩形的長(zhǎng)邊與所述長(zhǎng)六邊形的斜邊之間的最小間隙為1.75微米。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
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