[實用新型]一種石英片裝卸裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202220592620.9 | 申請日: | 2022-03-17 |
| 公開(公告)號: | CN217050757U | 公開(公告)日: | 2022-07-26 |
| 發(fā)明(設計)人: | 韋鑠燁 | 申請(專利權)人: | 廣州粵芯半導體技術有限公司 |
| 主分類號: | B65G65/40 | 分類號: | B65G65/40 |
| 代理公司: | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明偉 |
| 地址: | 510700 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 裝卸 裝置 | ||
本實用新型提供一種石英片裝卸裝置,該石英片裝卸裝置包括載物架、載物框架及升降架,其中,載物架包括載物部及與載物部連接并沿X方向延伸的定位部;載物框架包括第一側(cè)壁、與第一側(cè)壁相對設置的第二側(cè)壁、頂板、底板及多個平行設于第一側(cè)壁與第二側(cè)壁相對面的凹槽,且設于第一側(cè)壁的凹槽與設于第二側(cè)壁的凹槽相對應,頂板上設有第一定位孔;升降架包括底座、位于底座上方的升降臺及位于底座和升降臺之間且分別與底座和升降臺連接的升降部。本實用新型的石英片裝卸裝置通過載物架、載物框架及升降架的結合,調(diào)整升降架及載物框架的位置,實現(xiàn)了石英片的機械裝載至晶舟中或從晶舟中卸載下來,提高了裝卸石英片的效率,減少了晶舟的磨損概率。
技術領域
本實用新型屬于機械安裝結構的設計領域,涉及一種石英片裝卸裝置。
背景技術
在含有爐管的設備機臺中,當對爐管進行保養(yǎng)(Preventive Maintenance,PM)時,通常需要手動放置或移除爐管中的石英片。由于石英片是存放在晶舟上,在裝卸的過程中不可避免的會使石英片與晶舟產(chǎn)生摩擦,從而導致晶舟磨損,甚至產(chǎn)生影響產(chǎn)品的顆粒。而且由于放置石英片的方式為手動放置,石英片的位置可能會放置的不均勻,對爐管的保溫效果產(chǎn)生影響。
因此,急需尋找一種裝卸石英片的過程中使石英片與晶舟不產(chǎn)生摩擦且石英片位置放置均勻的石英片裝卸裝置。
實用新型內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點,本實用新型的目的在于提供一種石英片裝卸裝置,用于解決現(xiàn)有技術中手動裝卸石英片時石英片與晶舟產(chǎn)生摩擦而磨損晶舟及放置石英片的位置不均勻的問題。
為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的,本實用新型提供了一種石英片裝卸裝置,包括:
載物架,包括載物部及與所述載物部連接并沿X方向延伸的定位部;
載物框架,包括第一側(cè)壁、與所述第一側(cè)壁相對設置的第二側(cè)壁、頂板、底板及多個平行設于所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對面的凹槽,其中,設于所述第一側(cè)壁的所述凹槽與設于所述第二側(cè)壁的所述凹槽相對應,所述頂板上設有第一定位孔;
升降架,包括底座、位于所述底座上方的升降臺及位于所述底座和所述升降臺之間且分別與所述底座和升降臺連接的升降部。
可選地,所述載物部包括弧形的限位槽及水平突出于所述限位槽底面的延伸部,且所述載物部突出于所述載物框架。
可選地,所述限位槽包括第一弧形部及第二弧形部,所述第一弧形部的內(nèi)徑小于所述第二弧形部的內(nèi)徑,且所述第二弧形部堆疊于所述第一弧形部上并形成以所述第一弧形部為底層的堆疊臺階。
可選地,所述延伸部包括至少一個叉齒,所述延伸部的寬度小于晶舟中水平相對兩卡槽之間的距離。
可選地,所述定位部上設有第二定位孔。
可選地,所述第一側(cè)壁至所述第二側(cè)壁之間的距離不小于所述定位部的沿Y方向的長度,且所述Y方向與所述X方向均水平設置并相互垂直。
可選地,在垂直方向上相鄰兩個所述凹槽之間的距離與晶舟中相鄰兩個卡槽之間的距離相同。
可選地,所述升降臺上設有至少一個用于卡固所述載物框架的固定器及至少一條平行于X方向的滑軌。
可選地,所述固定器沿所述滑軌移動。
可選地,所述升降部包括剪叉支撐架、螺紋升降組件及液壓升降組件中的一種。
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