[實(shí)用新型]一種石英片裝卸裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220592620.9
• 申請(qǐng)日: 2022-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN217050757U
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋鑠燁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B65G65/40
• 分類號(hào): B65G65/40
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種石英片裝卸裝置，其特征在于，包括：

載物架，包括載物部及與所述載物部連接并沿X方向延伸的定位部；

載物框架，包括第一側(cè)壁、與所述第一側(cè)壁相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)壁、頂板、底板及多個(gè)平行設(shè)于所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對(duì)面的凹槽，其中，設(shè)于所述第一側(cè)壁的所述凹槽與設(shè)于所述第二側(cè)壁的所述凹槽相對(duì)應(yīng)，所述頂板上設(shè)有第一定位孔；

升降架，包括底座、位于所述底座上方的升降臺(tái)及位于所述底座和所述升降臺(tái)之間且分別與所述底座和升降臺(tái)連接的升降部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述載物部包括弧形的限位槽及水平突出于所述限位槽底面的延伸部，且所述載物部突出于所述載物框架。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述限位槽包括第一弧形部及第二弧形部，所述第一弧形部的內(nèi)徑小于所述第二弧形部的內(nèi)徑，且所述第二弧形部堆疊于所述第一弧形部上并形成以所述第一弧形部為底層的堆疊臺(tái)階。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述延伸部包括至少一個(gè)叉齒，所述延伸部的寬度小于晶舟中水平相對(duì)兩卡槽的之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述定位部上設(shè)有第二定位孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述第一側(cè)壁至所述第二側(cè)壁之間的距離不小于所述定位部的沿Y方向的長(zhǎng)度，且所述Y方向與所述X方向均水平設(shè)置并相互垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：在垂直方向上相鄰兩個(gè)所述凹槽之間的距離與晶舟中相鄰兩個(gè)卡槽之間的距離相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述升降臺(tái)上設(shè)有至少一個(gè)用于卡固所述載物框架的固定器及至少一條平行于X方向的滑軌。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述固定器沿所述滑軌移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英片裝卸裝置，其特征在于：所述升降部包括剪叉支撐架、螺紋升降組件及液壓升降組件中的一種。