[實用新型]一種高功率納秒級VCSEL激光模組測試裝置

有效

• 申請號: 202220559091.2
• 申請日: 2022-03-15
• 公開（公告）號: CN217787253U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 叢海兵;陶良澤;鞏少斌;林宇山
• 申請（專利權）人: 杭州晟創激光科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01M11/00
• 代理公司: 杭州信與義專利代理有限公司 33450
• 代理人: 蔣亞兵

一種高功率納秒級VCSEL激光模組測試裝置，屬于激光測試技術領域，包括機座，機座的上方設有機身，且機座的上端面設有升降組件，升降組件的升降端與機身的下端面連接；機座的上端面可拆卸式設有模組支架，模組支架的上方設有檢測件，機身的下端面固設有用于驅動檢測件沿著X軸以及Y軸運動的調節組件；其中，工作時，檢測件的檢測端觸接于VCSEL激光模組的正負極；本實用新型的結構簡單，設計布局合理，降低對操作人員的素質要求，其次，相較于傳統的測試裝置，在對VCSEL激光模組進行測試時，為了便于檢測，需要對VCSEL激光模組的表面進行探測凸點的焊接，從而導致對VCSEL激光模組的表面的損傷，而本實用新型中通過檢測件直接壓測于VCSEL激光模組的表面，避免該問題。

技術領域

本實用新型屬于激光測試技術領域，特別涉及一種高功率納秒級VCSEL激光模組測試裝置。

背景技術

激光雷達、3D TOF傳感相機都需要高峰值功率、窄脈沖（納秒級）的激光光源模組，而VCSEL（垂直腔面發射激光器）激光模組由于無腔面損傷、可靠性高、面陣出光、峰值功率高的特點得到了廣泛應用。同時，由于VCSEL激光模組功率高，輸出光脈寬窄，現有的連續（CW）、準連續（QCW）激光模組測試系統無法滿足測試要求，或者即使能對模組進行測試，但是卻需要模組進行焊接的有損傷操作，不僅操作麻煩效率低，而且測試損耗的成本也比較高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種高功率納秒級VCSEL激光模組測試裝置和測試方法，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種高功率納秒級VCSEL激光模組測試裝置，包括機座，所述機座的上方設有機身，且所述機座的上端面設有升降組件，所述升降組件的升降端與所述機身的下端面連接；所述機座的上端面可拆卸式設有模組支架，所述模組支架的上方設有檢測件，所述機身的下端面固設有用于驅動檢測件沿著X軸以及Y軸運動的調節組件；其中，工作時，所述檢測件的檢測端觸接于VCSEL激光模組的正負極。

相較于現有技術，本實用新型具備如下效果：

本實用新型的結構簡單，設計布局合理，降低對操作人員的素質要求，其次，相較于傳統的測試裝置，在對VCSEL激光模組進行測試時，為了便于檢測，需要對VCSEL激光模組的表面進行探測凸點的焊接，從而導致對VCSEL激光模組的表面的損傷，而本實用新型中通過檢測件直接壓測于VCSEL激光模組的表面，避免該問題。

作為優選，所述檢測件包括檢測板，所述檢測板上分設有與VCSEL激光模組的正負極對應的探針。

作為優選，所述探針包括檢測段，所述檢測段的尾端連接有插裝段，所述插裝段與所述檢測板的連接處設有插裝槽，所述插裝段插裝于所述插裝槽內。

作為優選，所述檢測段包括探針本體，所述探針本體的檢測端設有若干個溝槽，且所述探針本體的尾端和所述插裝段連接。

作為優選，所述模組支架包括支架本體，所述支架本體上設有出光窗口，所述出光窗口上下貫穿所述支架本體，且所述支架本體上還設有溫度控制器。

作為優選，所述調節組件包括沿X軸移動的第一滑行機構以及沿Y軸移動的第二滑行機構，所述第一滑行機構和所述第二滑行機構的結構相同，且所述第二滑行機構的安裝端固設于所述第一滑行機構的滑行端。

作為優選，所述第一滑行機構/第二滑行機構包括滑軌，所述滑軌上滑動設有滑動塊。

作為優選，所述升降組件包括驅動件，所述驅動件的驅動端動力連接有升降件，所述升降件的升降端連接于所述機座或所述機身二者之一。

作為優選，所述驅動件為液壓泵、氣缸或者電機中的一種。

作為優選，所述升降件為升降軸。

附圖說明