[實(shí)用新型]一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220559091.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-15
• 公開（公告）號(hào): CN217787253U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 叢海兵;陶良澤;鞏少斌;林宇山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州晟創(chuàng)激光科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G01M11/00
• 代理公司: 杭州信與義專利代理有限公司 33450
• 代理人: 蔣亞兵

1.一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，包括機(jī)座（1），所述機(jī)座（1）的上方設(shè)有機(jī)身（2），且所述機(jī)座（1）的上端面設(shè)有升降組件（3），所述升降組件（3）的升降端與所述機(jī)身（2）的下端面連接；其特征在于：所述機(jī)座（1）的上端面可拆卸式設(shè)有模組支架（4），所述模組支架（4）的上方設(shè)有檢測(cè)件（6），所述機(jī)身（2）的下端面固設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)檢測(cè)件（6）沿著X軸以及Y軸運(yùn)動(dòng)的調(diào)節(jié)組件（5）；其中，工作時(shí)，所述檢測(cè)件（6）的檢測(cè)端觸接于VCSEL激光模組的正負(fù)極。

2.如權(quán)利要求1所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述檢測(cè)件（6）包括檢測(cè)板（60），所述檢測(cè)板（60）上分設(shè)有與VCSEL激光模組的正負(fù)極對(duì)應(yīng)的探針（61）。

3.如權(quán)利要求2所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述探針（61）包括檢測(cè)段（610），所述檢測(cè)段（610）的尾端連接有插裝段（611），所述插裝段（611）與所述檢測(cè)板（60）的連接處設(shè)有插裝槽（612），所述插裝段（611）插裝于所述插裝槽（612）內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述檢測(cè)段（610）包括探針本體（6100），所述探針本體（6100）的檢測(cè)端設(shè)有若干個(gè)溝槽（6101），且所述探針本體（6100）的尾端和所述插裝段（611）連接。

5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述模組支架（4）包括支架本體（40），所述支架本體（40）上設(shè)有出光窗口（41），所述出光窗口（41）上下貫穿所述支架本體（40），且所述支架本體（40）上還設(shè)有溫度控制器（42）。

6.如權(quán)利要求5所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件（5）包括沿X軸移動(dòng)的第一滑行機(jī)構(gòu)以及沿Y軸移動(dòng)的第二滑行機(jī)構(gòu)，所述第一滑行機(jī)構(gòu)和所述第二滑行機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，且所述第二滑行機(jī)構(gòu)的安裝端固設(shè)于所述第一滑行機(jī)構(gòu)的滑行端。

7.如權(quán)利要求6所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述第一滑行機(jī)構(gòu)/第二滑行機(jī)構(gòu)包括滑軌，所述滑軌上滑動(dòng)設(shè)有滑動(dòng)塊。

8.如權(quán)利要求5所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述升降組件（3）包括驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端動(dòng)力連接有升降件，所述升降件的升降端連接于所述機(jī)座（1）或所述機(jī)身（2）二者之一。

9.如權(quán)利要求8所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)件為液壓泵、氣缸或者電機(jī)中的一種。

10.如權(quán)利要求9所述的一種高功率納秒級(jí)VCSEL激光模組測(cè)試裝置，其特征在于：所述升降件為升降軸。