[實用新型]一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構

有效

• 申請號: 202220556351.0
• 申請日: 2022-03-15
• 公開（公告）號: CN217405398U
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 余文錦
• 申請（專利權）人: 全訊射頻科技(無錫)有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 彭學飛;顧吉云

1.一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其特征在于：其包括支撐盤，所述支撐盤呈環形、且安裝于固定晶圓用吸盤的口部，所述支撐盤的外表面設有兩個缺口，兩個所述缺口的頂點分別與晶圓的切口處的兩個角部相對應。

2.根據權利要求1所述的一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其特征在于：所述支撐盤的表面對應與所述晶圓接觸處設有粘結層，所述粘結層為EGT膜，該粘結層與所述晶圓接觸面上有粘性。

3.根據權利要求2所述的一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其特征在于：所述支撐盤的外周上沿四個方向上切邊，切邊后的所述支撐盤大小與盛放所述晶圓的料盒口部相適應。