[實用新型]一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構

有效

• 申請號: 202220556351.0
• 申請日: 2022-03-15
• 公開（公告）號: CN217405398U
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 余文錦
• 申請（專利權）人: 全訊射頻科技(無錫)有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 彭學飛;顧吉云

本實用新型提供了一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其通過對晶圓起支撐作用，使得其去膜時受力更加均勻，提高了生產效率及良品率。其包括支撐盤，所述支撐盤呈環形、且安裝于固定晶圓用吸盤的口部，所述支撐盤的外表面設有兩個缺口，兩個所述缺口的頂點分別與晶圓的切口處的兩個角部相對應。

技術領域

本實用新型涉及濾波器晶圓去膜技術領域，具體為一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構。

背景技術

濾波器晶圓在研磨工藝加工過程中，需要先在其正面貼附一層保護膜，貼膜后的晶圓再進行旋轉研磨，研磨至目標厚度后，該減薄后的晶圓需要轉運至撕膜機去膜。然而由于使用撕膜機撕膜操作時，該晶圓僅通過吸盤吸附固定，由于缺少支撐結構，則濾波器晶圓在撕膜時受力不均，易產生裂紋，這些裂紋缺陷在晶圓上難以用肉眼看清，需要高倍鏡下檢測才能發現，因而需要將撕膜后的晶圓使用高倍鏡進行全檢，則導致生產效率及良品率都受到較大影響。

實用新型內容

針對現有的濾波器晶圓在研磨減薄工藝之后采用撕膜機撕膜，由于缺少支撐結構，則使得晶圓易產生裂紋，導致生產效率及良品率產生較大影響的問題，本實用新型提供了一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其通過對晶圓起支撐作用，使得其去膜時受力更加均勻，提高了生產效率及良品率。

其技術方案是這樣的：一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，其特征在于：其包括支撐盤，所述支撐盤呈環形、且安裝于固定晶圓用吸盤的口部，所述支撐盤的外表面設有兩個缺口，兩個所述缺口的頂點分別與晶圓的切口處的兩個角部相對應。

其進一步特征在于：所述支撐盤的表面對應與所述晶圓接觸處設有粘結層，所述粘結層為EGT膜，該粘結層與所述晶圓接觸面上有粘性；

所述支撐盤的外周上沿四個方向上切邊，切邊后的所述支撐盤大小與盛放所述晶圓的料盒口部相適應。

采用了上述結構后，通過在固定晶圓用的吸盤上增設支撐盤，則吸盤吸附晶圓時，該支撐盤對晶圓外周起到支撐作用，從而固定效果更好，使得撕膜時可以受力均勻，同時該支撐盤上還設有兩個缺口部，通過缺口部將濾波器晶圓進行定位，從而可以保證晶圓固定時對位準確。

附圖說明

圖1為濾波器晶圓的截面圖；

圖2為本實用新型的俯視圖；

圖中：1、晶圓；2、支撐盤；3、缺口；4、粘結層。

具體實施方式

如圖1所示，一種方便濾波器晶圓去膜用支撐結構，包括支撐盤2，支撐盤2采用不銹鋼材料制成，且厚度在1.2mm，該支撐盤2呈環形、且安裝于固定晶圓用吸盤的口部，支撐盤2的外表面設有兩個缺口3，兩個缺口3的頂點分別與晶圓的切口處的兩個角部相對應。撕膜機撕膜前，將晶圓置于支撐盤2上，通過晶圓上的切口處的兩個角部的頂點與支撐盤2兩個缺口3的角部的頂點處對應放置后，晶圓位置找準，再通過與吸盤連接的吸真空設備吸真空固定，最后通過外部的撕膜機進行撕膜操作，由于支撐盤2的支撐作用，則使得晶圓在去膜時可以受力均勻，有效防止產生裂紋。

進一步的，支撐盤2的表面對應與晶圓接觸處設有粘結層4，粘結層4采用EGT膜，該粘結層4一面粘貼于晶圓表面上，另一面與晶圓接觸面上有微粘性，可以進一步防止晶圓串位，固定效果更好。

進一步的，支撐盤2的外周上沿四個方向上均切邊，由于切邊后的支撐盤2大小與盛放晶圓的料盒口部相適應，從而可以方便從料盒中取放晶圓。

以上，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉該技術的人在本實用新型所揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求的保護范圍為準。