[實(shí)用新型]一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220496259.X
• 申請(qǐng)日: 2022-03-09
• 公開（公告）號(hào): CN216937332U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王青松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢臻芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 武漢天領(lǐng)眾智專利代理事務(wù)所(普通合伙) 42300
• 代理人: 楊建軍

本實(shí)用新型公開了一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置，包括清洗臺(tái)，清洗臺(tái)的頂部固定連接有清洗框，清洗臺(tái)的頂部且位于清洗臺(tái)的下方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和安裝箱，安裝箱與清洗臺(tái)滑動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)與清洗臺(tái)的頂部固定連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接有螺紋桿，螺紋桿的表面且位于安裝箱的內(nèi)部螺紋連接有螺紋套管，本實(shí)用新型涉及芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域。該芯片清洗機(jī)的清洗裝置，芯片在清洗的過程中，通過安裝箱和安裝板的配合實(shí)現(xiàn)芯片的移動(dòng)，通過螺紋套、第一錐齒輪、傳動(dòng)桿、第二錐齒輪、蝸輪、蝸桿等的配合實(shí)現(xiàn)芯片翻轉(zhuǎn)，使芯片在清洗的過程中邊移動(dòng)邊翻轉(zhuǎn)，大大降低了清洗的工作量，有效提高芯片的清洗效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片是在半導(dǎo)體片材上進(jìn)行浸蝕，布線，制成的能實(shí)現(xiàn)某種功能的半導(dǎo)體器件，不只是硅芯片，常見的還包括砷化鎵、鍺等半導(dǎo)體材料，半導(dǎo)體也像汽車有潮流，為了滿足量產(chǎn)上的需求，半導(dǎo)體的電性必須是可預(yù)測(cè)并且穩(wěn)定的，因此包括摻雜物的純度以及半導(dǎo)體晶格結(jié)構(gòu)的品質(zhì)都必須嚴(yán)格要求。

晶體管發(fā)明并大量生產(chǎn)之后，各式固態(tài)半導(dǎo)體組件如二極管、晶體管等大量使用，取代了真空管在電路中的功能與角色。到了20世紀(jì)中后期半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步，使得集成電路成為可能。相對(duì)于手工組裝電路使用個(gè)別的分立電子組件，集成電路可以把很大數(shù)量的微晶體管集成到一個(gè)小芯片，是一個(gè)巨大的進(jìn)步。集成電路的規(guī)模生產(chǎn)能力，可靠性，電路設(shè)計(jì)的模塊化方法確保了快速采用標(biāo)準(zhǔn)化集成電路代替了設(shè)計(jì)使用離散晶體管，芯片生產(chǎn)時(shí)需要對(duì)芯片的表面進(jìn)行清洗。現(xiàn)有的芯片清洗裝置在對(duì)芯片進(jìn)行清洗時(shí)，一次只能清洗芯片的一面，需要手動(dòng)翻面進(jìn)重新固定后繼續(xù)清洗，清洗效率低，影響芯片的生產(chǎn)進(jìn)度。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置，解決了現(xiàn)有的芯片清洗裝置在對(duì)芯片進(jìn)行清洗時(shí)，一次只能清洗芯片的一面，需要手動(dòng)翻面進(jìn)重新固定后繼續(xù)清洗，清洗效率低，影響芯片的生產(chǎn)進(jìn)度的問題。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置，包括清洗臺(tái)，所述清洗臺(tái)的頂部固定連接有清洗框，所述清洗臺(tái)的頂部且位于清洗臺(tái)的下方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和安裝箱，所述安裝箱與清洗臺(tái)滑動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與清洗臺(tái)的頂部固定連接，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的表面且位于安裝箱的內(nèi)部螺紋連接有螺紋套管，所述螺紋套管的一端與安裝箱的內(nèi)壁固定連接，所述螺紋桿的表面且位于螺紋套管的右側(cè)螺紋連接有螺紋套，所述螺紋套與螺紋套管轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述螺紋套的表面固定連接有第一錐齒輪，所述安裝箱的內(nèi)壁通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿的底端固定連接有與第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，所述安裝箱內(nèi)壁的正面與背面之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有安裝軸，所述安裝軸的表面固定連接有蝸輪，所述傳動(dòng)桿的表面固定連接有與蝸輪相適配的蝸桿，所述安裝軸的一端貫穿安裝箱并延伸至安裝箱的外部，所述安裝軸位于安裝箱外部的一端固定連接有固定組件。

優(yōu)選的，所述螺紋桿貫穿安裝箱并與安裝箱滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述固定組件包括安裝板，所述安裝板的表面貫穿開設(shè)有限位孔，所述限位孔的內(nèi)壁固定連接有伸縮桿。

優(yōu)選的，所述伸縮桿遠(yuǎn)離限位孔內(nèi)壁的一端固定連接有限位板，所述限位板與限位孔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述清洗臺(tái)的頂部固定連接有滑軌，所述安裝箱通過滑軌與清洗臺(tái)滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述清洗臺(tái)底部的四角均固定連接有支撐腿。

有益效果

本實(shí)用新型提供了一種芯片清洗機(jī)的清洗裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：