[實用新型]一種芯片清洗機的清洗裝置

有效

• 申請號: 202220496259.X
• 申請日: 2022-03-09
• 公開（公告）號: CN216937332U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 王青松
• 申請（專利權）人: 武漢臻芯半導體設備有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 武漢天領眾智專利代理事務所(普通合伙) 42300
• 代理人: 楊建軍

1.一種芯片清洗機的清洗裝置，包括清洗臺(1)，其特征在于：所述清洗臺(1)的頂部固定連接有清洗框(2)，所述清洗臺(1)的頂部且位于清洗臺(1)的下方設置有驅動機構(3)；

所述驅動機構(3)包括驅動電機(31)和安裝箱(32)，所述安裝箱(32)與清洗臺(1)滑動連接，所述驅動電機(31)與清洗臺(1)的頂部固定連接，所述驅動電機(31)的輸出軸固定連接有螺紋桿(33)，所述螺紋桿(33)的表面且位于安裝箱(32)的內部螺紋連接有螺紋套管(34)，所述螺紋套管(34)的一端與安裝箱(32)的內壁固定連接，所述螺紋桿(33)的表面且位于螺紋套管(34)的右側螺紋連接有螺紋套(35)，所述螺紋套(35)與螺紋套管轉動連接，所述螺紋套(35)的表面固定連接有第一錐齒輪(36)，所述安裝箱(32)的內壁通過轉軸轉動連接有傳動桿(37)，所述傳動桿(37)的底端固定連接有與第一錐齒輪(36)相嚙合的第二錐齒輪(38)，所述安裝箱(32)內壁的正面與背面之間轉動連接有安裝軸(39)，所述安裝軸(39)的表面固定連接有蝸輪(310)，所述傳動桿(37)的表面固定連接有與蝸輪(310)相適配的蝸桿(311)，所述安裝軸(39)的一端貫穿安裝箱(32)并延伸至安裝箱(32)的外部，所述安裝軸(39)位于安裝箱(32)外部的一端固定連接有固定組件(4)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片清洗機的清洗裝置，其特征在于：所述螺紋桿(33)貫穿安裝箱(32)并與安裝箱(32)滑動連接。

3.根據權利要求1所述的一種芯片清洗機的清洗裝置，其特征在于：所述固定組件(4)包括安裝板(41)，所述安裝板(41)的表面貫穿開設有限位孔(42)，所述限位孔(42)的內壁固定連接有伸縮桿(43)。

4.根據權利要求3所述的一種芯片清洗機的清洗裝置，其特征在于：所述伸縮桿(43)遠離限位孔(42)內壁的一端固定連接有限位板(44)，所述限位板(44)與限位孔(42)的內壁滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種芯片清洗機的清洗裝置，其特征在于：所述清洗臺(1)的頂部固定連接有滑軌(5)，所述安裝箱(32)通過滑軌(5)與清洗臺(1)滑動連接。

6.根據權利要求1所述的一種芯片清洗機的清洗裝置，其特征在于：所述清洗臺(1)底部的四角均固定連接有支撐腿(6)。