[實用新型]一種太赫茲光譜儀的掃描裝置有效
| 申請號： | 202220475942.5 | 申請日： | 2022-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN217277854U | 公開（公告）日： | 2022-08-23 |
| 發明（設計）人： | 李茜;牛煒杰;黃美玲 | 申請（專利權）人： | 太赫茲科技應用（廣東）有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/3586 | 分類號： | G01N21/3586;G01N21/01;G01J3/42;G01J3/06 |
| 代理公司： | 廣州潤禾知識產權代理事務所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林偉斌 |
| 地址： | 510000 廣東省廣州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 赫茲 光譜儀 掃描 裝置 | ||
1.一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，包括：外殼，設置在外殼內且在同一安裝水平面上的輸入組件、輻射光傳輸組件和輸出組件，其特征在于，還包括：
探測光傳輸組件，設置在安裝水平面上，形成快速掃描和慢速掃描共用且連通輸入組件和輸出組件的光路；包括：反射組件和回反射組件；
慢掃驅動組件，設置在外殼內，與回反射組件相連；
快掃驅動組件，設置在慢掃驅動組件上，且與回反射組件相連。
2.根據權利要求1所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述輸入組件包括在同一光路上依次設置的聚焦裝置、第一調光裝置和分光裝置。
3.根據權利要求1所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述輸出組件包括在同一光路上依次設置的第二調光裝置和耦合調光裝置。
4.根據權利要求2或3所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述第一調光裝置或第二調光裝置為二分之一波片。
5.根據權利要求3所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述耦合調光裝置為光纖耦合器。
6.根據權利要求1-5任一項所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述殼體內設有固定平臺，所述輸入組件、輻射光傳輸組件、輸出組件和反射組件設置在固定平臺上；所述慢掃驅動組件設置在固定平臺的下方。
7.根據權利要求6所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述慢掃驅動組件包括：
滑軌，設置在安裝水平面下方；
安裝臺，設置在滑軌上，與滑軌形成滑動連接，所述回反射組件設置在安裝臺上；
驅動電機，設置在滑軌的一端；
傳動絲桿，連接安裝臺與驅動電機。
8.根據權利要求7所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述安裝臺的上表面設有滑動結構，所述滑動結構上設有驅動板；所述安裝臺遠離反射組件的一側設有擋板；所述快掃驅動組件設置在所述驅動板與擋板之間。
9.根據權利要求1-5任一項所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于，所述快掃驅動組件為音圈電機。
10.根據權利要求2-5任一項所述的一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，其特征在于：所述分光裝置為分束鏡。
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