[實用新型]一種太赫茲光譜儀的掃描裝置

有效

• 申請號: 202220475942.5
• 申請日: 2022-03-04
• 公開（公告）號: CN217277854U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 李茜;牛煒杰;黃美玲
• 申請（專利權）人: 太赫茲科技應用（廣東）有限公司
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586;G01N21/01;G01J3/42;G01J3/06
• 代理公司: 廣州潤禾知識產權代理事務所(普通合伙) 44446
• 代理人: 林偉斌

本實用新型涉及太赫茲光譜儀掃描技術領域，公開了一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，包括：設置在同一安裝水平面上的輸入組件、輻射光傳輸組件和輸出組件，還包括：探測光傳輸組件，設置在安裝水平面上，形成快速掃描和慢速掃描共用且連通輸入組件和輸出組件的光路；包括：反射組件和回反射組件；慢掃驅動組件，調節反射組件和回反射組件之間的相對位置；快掃驅動組件，與回反射組件相連，調節回反射組件的運動頻率，本實用新型能有效提高整體性能，從而提高產品功率，同時能節省調試次數，節省調試時間，還能進一步減少設備占用空間，縮小設備整體體積，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及太赫茲光譜儀領域，更具體地，涉及一種太赫茲光譜儀的掃描裝置。

背景技術

太赫茲波是指頻率在0.1～10THz范圍內的電磁波。由于太赫茲波的波段能夠覆蓋半導體、等離子體、有機體和生物大分子等物質的特征譜，利用太赫茲波進行物質的組成檢測是一項先進的檢測技術。太赫茲光譜儀是利用太赫茲波進行檢測的常用儀器，通過樣品對太赫茲波的吸收特性，能在無損的狀態下對樣品進行分析。太赫茲光譜技術的基本原理是利用飛秒脈沖產生并探測時間分辨的太赫茲電場，通過傅立葉變換獲得被測物品的光譜信息，由于大分子的振動和轉動能級大多在太赫茲波段，進而可以通過特征頻率對物質結構、物性進行分析和鑒定。

作為緊密的光學儀器，光纖式太赫茲光譜儀的精準度離不開光信號的傳遞和接收，其中，掃描裝置是太赫茲光譜儀的核心裝置。掃描裝置能將光信號進行轉化，并控制掃描過程和掃描狀態。傳統的光纖式太赫茲光譜儀的掃描裝置采用分離式結構，慢掃模塊和快掃模塊相互獨立，兩個模塊之間采用不同的光路，然后通過光纖來進行連接形成一體。這一設計導致設備占用的體積空間大，阻礙了掃描裝置的小型化發展。而且兩個模塊之間的同步和配合調試過程復雜，既增加了調試的時間，又增大了誤差。而且在傳遞過程中，現有技術需要進行多次耦合，導致激光的功率降低，降低了檢測效果。

實用新型內容

本實用新型旨在克服上述現有技術的至少一種缺陷，提供一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，用于解決一種太赫茲光譜儀的掃描裝置。

本實用新型采取的技術方案是，一種太赫茲光譜儀的掃描裝置，包括：外殼，設置在外殼內且在同一安裝水平面上的輸入組件、輻射光傳輸組件和輸出組件，還包括：所述探測光傳輸組件，設置在安裝水平面上，形成快速掃描和慢速掃描共用且連通輸入組件和輸出組件的光路；包括：反射組件和回反射組件；慢掃驅動組件，調設置在外殼內，與回反射組件相連；快掃驅動組件，設置在慢掃驅動組件上，且與回反射組件相連。

所述掃描裝置是太赫茲光譜儀中的一部分結構，通過與太赫茲光譜儀的其它結構共同配合來實現太赫茲光譜儀的功能，所述掃描裝置主要用于形成不同的太赫茲光譜信號。所述輸入組件用于將外部光纖中的激光引入并進行調整，并對調整完的激光進行輸出。所述輻射光傳輸組件用于改變輸入組件輸出激光的方向，使激光經過輻射光傳輸組件進入到輸出組件。所述輸出組件用于將激光再調整轉化為光纖機構后向外部輸出。所述探測光傳輸組件用于將輸入組件輸出的激光轉化為太赫茲光譜信號，并將其傳輸給輸出組件。

所述反射組件用于改變輸入組件輸出激光的方向，從而改變激光的路徑，將激光反射至回反射組件。所述回反射組件用于將反射組件反射的激光回向反射，回向反射的光路與反射鏡來向反射的光路產生重折，能減少光路所占用的空間。所述慢掃驅動組件提供了反射組件和回反射組件之間相對位置調節過程中更大的行程，滿足慢掃所需的大幅度的光路調節，實現大范圍的光程的改變。所述快掃驅動組件提供了回反射組件高頻的往返運動，相比慢掃驅動組件，快掃組件的行程低，但往返頻率的可調范圍大，從而滿足快掃的需要，使所述回反射組件在較小的運動行程內進行高頻的運動。