[實用新型]一種硅片清洗花籃

有效

• 申請號: 202220460823.2
• 申請日: 2022-03-03
• 公開（公告）號: CN216818299U
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 楊光;黃艷華;聶加峰
• 申請（專利權）人: 錦州佑華硅材料有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 沈陽友和欣知識產權代理事務所(普通合伙) 21254
• 代理人: 郭悅

1.一種硅片清洗花籃，其特征在于：包括立板(1)，所述立板(1)的數量為兩片，兩片所述立板(1)之間設有連接桿(2)，所述連接桿(2)之間設有隔離片(3)，所述立板(1)上所述連接桿(2)對應的位置開設有調節槽(4)，所述連接桿(2)的兩端且在所述調節槽(4)外部設有固定板(5)，兩片所述立板(1)下端兩側之間通過螺栓連接有固定桿(6)，兩片所述立板(1)下端且在所述固定桿(6)之間設有承托桿(7)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：所述連接桿(2)的兩端為螺栓結構，所述連接桿(2)的螺栓結構端伸入到所述調節槽(4)的內部，所述連接桿(2)的兩端且在所述固定板(5)上通過螺栓連接有固定螺母(8)，所述固定板(5)抵在所述調節槽(4)上。

3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：兩片所述立板(1)相遠離一側外表面上通過螺栓連接有立柱(9)，所述立柱(9)的數量為六根，六根所述立柱(9)均分為兩組，兩組所述立柱(9)分別設置在兩片所述立板(1)上。

4.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：兩片所述立板(1)為呈C字形的金屬板，兩片所述立板(1)的外側沿處開設有限位槽(10)。

5.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：兩根所述連接桿(2)為一組，所述隔離片(3)均勻設置在一組所述連接桿(2)之間。