[實用新型]用于晶圓片膠邊去除裝置

有效

• 申請號: 202220431524.6
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN218299779U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 程玉學;楊雪梅
• 申請（專利權）人: 三河市致欣科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于：包括承載支座(1)；

所述承載支座(1)頂部一端一體式設置有承載框柱(105)，承載框柱(105)主體截面形狀為倒置的“L”形結構，同時承載框柱(105)一側設置有驅動收集結構，且承載框柱(105)一側貫穿開設有預設滑槽(107)；承載軸座(2)，所述承載軸座(2)安裝于承載框柱(105)一端底部；升降壓柱(3)，所述升降壓柱(3)安裝于承載軸座(2)底部；安裝框柱(4)，所述安裝框柱(4)套設于升降壓柱(3)底端外側。

2.如權利要求1所述用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于，所述承載支座(1)還包括有：

安裝卡槽(101)，安裝卡槽(101)開設于承載支座(1)一側；承載支板(102)，承載支板(102)一體式設置于安裝卡槽(101)一側立面；定位載座(103)，定位載座(103)安裝于承載支座(1)頂部；置物載座(104)，置物載座(104)安裝于定位載座(103)頂部。

3.如權利要求1所述用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于，所述驅動收集結構包括有：

滑動支柱(106)，滑動支柱(106)安裝于預設滑槽(107)內側；升降螺柱(1061)，升降螺柱(1061)轉動安裝于預設滑槽(107)內側；調節載塊(1062)，調節載塊(1062)套設于滑動支柱(106)、升降螺柱(1061)外側；遮擋支框(1063)，遮擋支框(1063)安裝于調節載塊(1062)一端；收集支框(1064)，收集支框(1064)設置于遮擋支框(1063)底部，同時收集支框(1064)安裝于安裝卡槽(101)內側；安裝軸塊(1065)，安裝軸塊(1065)安裝于承載框柱(105)一端頂部；傳動支軸(1066)，傳動支軸(1066)轉動安裝于安裝軸塊(1065)內側，同時傳動支軸(1066)與升降螺柱(1061)傳動連接；升降電機(1067)，升降電機(1067)安裝于承載框柱(105)一側，同時升降電機(1067)與傳動支軸(1066)傳動連接。

4.如權利要求1所述用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于，所述承載軸座(2)包括有：

驅動齒座(201)，驅動齒座(201)套設于承載軸座(2)一端外側；安裝支座(202)，安裝支座(202)套設于承載軸座(2)另一端外側；傳動齒座(203)，傳動齒座(203)轉動安裝于承載框柱(105)底部一端，同時傳動齒座(203)與驅動齒座(201)相嚙合；驅動接軸(204)，驅動接軸(204)安裝于傳動齒座(203)末端；驅動電機(205)，驅動電機(205)安裝于承載框柱(105)頂部，同時驅動電機(205)與驅動接軸(204)傳動連接。

5.如權利要求1所述用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于，所述升降壓柱(3)包括有：

裝配壓柱(301)，裝配壓柱(301)安裝于升降壓柱(3)升降柱末端；裝配支凸(302)，裝配支凸(302)安裝于裝配壓柱(301)兩側；承載滑柱(303)，承載滑柱(303)安裝于裝配支凸(302)底部；定位螺塊(304)，定位螺塊(304)套設于承載滑柱(303)一端外側；緩沖彈簧(305)，緩沖彈簧(305)套設于承載滑柱(303)外側；承載滑框(306)，承載滑框(306)安裝于裝配壓柱(301)兩側；定位滑筒(307)，定位滑筒(307)安裝于承載滑框(306)內側；安裝滑槽(308)，安裝滑槽(308)開設于裝配壓柱(301)內側；定位壓座(309)，定位壓座(309)安裝于安裝滑槽(308)內側。

6.如權利要求1所述用于晶圓片膠邊去除裝置，其特征在于，所述安裝框柱(4)包括有：

承載滑槽(401)，承載滑槽(401)開設于安裝框柱(4)一側；調節載軸(402)，調節載軸(402)轉動安裝于承載滑槽(401)內側；傳動接軸(403)，傳動接軸(403)轉動安裝于承載滑槽(401)內側，同時傳動接軸(403)與調節載軸(402)傳動連接；驅動握軸(404)，驅動握軸(404)轉動安裝于承載滑槽(401)內側，同時驅動握軸(404)與傳動接軸(403)傳動連接；調節支塊(405)，調節支塊(405)套設于調節載軸(402)外側；調位支軸(406)，調位支軸(406)轉動安裝于調節支塊(405)內側；導向滑柱(407)，導向滑柱(407)安裝于調節支塊(405)內側；清理刀框(408)，清理刀框(408)安裝于調位支軸(406)、導向滑柱(407)末端；定位輸框(409)，定位輸框(409)安裝于清理刀框(408)一側。