[實用新型]基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構

有效

• 申請號: 202220431510.4
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN218299757U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 程玉學;楊雪梅
• 申請（專利權）人: 三河市致欣科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，屬于高溫治具技術領域，以解決現有的晶圓片插入高溫治具時，可能會劃傷晶圓片，在圓晶片進行高溫烘烤時，可能會發生形變，缺少散熱設備，晶圓片的篩選，一般由人工進行篩選，效率較低的問題，包括高溫箱體；放置滑槽，所述放置滑槽開槽設置在高溫箱體的前方；散熱滑槽，所述散熱滑槽開槽設置在高溫箱體的上方；散熱箱，所述散熱箱滑動安裝在散熱滑槽的上方；放置機構，所述放置機構滑動連接在放置滑槽的前方；夾緊機構，所述夾緊機構設置在高溫箱體的內部，通過夾緊機構和篩選槽的設置，避免了晶圓片劃傷，增加了篩選功能，通過散熱箱的設置，增加了功能，通過放置機構的設置，加快了效率。

技術領域

本實用新型屬于高溫治具技術領域，更具體地說，特別涉及基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構。

背景技術

晶圓片一般指硅晶片，元素硅是一種灰色、易碎、四價的非金屬化學元素，地殼成分中27.8％是硅元素構成的，僅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比較富的元素，在石英、瑪瑙、燧石和普通的灘石中就可以發現硅元素，在晶圓片的加工工程中，經常需要用到高溫烘烤。

基于上述，現有的晶圓片在插入高溫治具時，可能會由于工人操作不當，對晶圓片造成劃傷，而且在圓晶片進行高溫烘烤時，可能會在熱脹冷縮的作用下，發生形變，導致晶圓片廢棄，造成浪費，而且一般高溫治具缺少散熱設備，晶圓片的篩選，一般由人工進行篩選，效率較低。

于是，有鑒于此，針對現有的結構及缺失予以研究改良，提供基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，以期達到更具有更加實用價值性的目的。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，以解決現有的晶圓片在插入高溫治具時，可能會由于工人操作不當，對晶圓片造成劃傷，而且在圓晶片進行高溫烘烤時，可能會在熱脹冷縮的作用下，發生形變，導致晶圓片廢棄，造成浪費，而且一般高溫治具缺少散熱設備，晶圓片的篩選，一般由人工進行篩選，效率較低的問題。

本實用新型基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構的目的與功效，由以下具體技術手段所達成：

基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，包括高溫箱體，所述高溫箱體為上下開口結構；

放置滑槽，所述放置滑槽開槽設置在高溫箱體的前方；

散熱滑槽，所述散熱滑槽開槽設置在高溫箱體的上方；

散熱箱，所述散熱箱滑動安裝在散熱滑槽的上方；

放置機構，所述放置機構滑動連接在放置滑槽的前方；

夾緊機構，所述夾緊機構設置有多組，夾緊機構分別設置在高溫箱體的內部。

進一步的，所述高溫箱體還包括有：

夾緊滑槽，夾緊滑槽共設置兩組，夾緊滑槽分別開槽設置在高溫箱體的前后方。

進一步的，其中，所述散熱箱還包括有：

散熱扇，散熱扇固定連接在散熱箱的上方。

進一步的，所述夾緊機構還包括有：

夾緊滑桿，夾緊滑桿共設置兩組，夾緊滑桿分別與夾緊滑槽滑動連接，夾緊滑桿一端分別設置有兩個平面結構；

限位塊，限位塊共設置兩組，限位塊分別與夾緊滑桿固定連接，其中一組限位塊設置為杠鈴狀；

放置板，放置板共設置兩組，放置板分別與夾緊滑桿固定連接，放置板分別設置有放置槽；

彈性塊，彈性塊共設置兩組，彈性塊分別固定連接在兩組放置板的中間上下方。

進一步的，所述夾緊機構還包括有：