[實用新型]基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構

有效

• 申請號: 202220431510.4
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN218299757U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 程玉學;楊雪梅
• 申請（專利權）人: 三河市致欣科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：該基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構包括高溫箱體(1)，所述高溫箱體(1)為上下開口結構；放置滑槽(102)，所述放置滑槽(102)開槽設置在高溫箱體(1)的前方；散熱滑槽(103)，所述散熱滑槽(103)開槽設置在高溫箱體(1)的上方；散熱箱(2)，所述散熱箱(2)滑動安裝在散熱滑槽(103)的上方；放置機構(3)，所述放置機構(3)滑動連接在放置滑槽(102)的前方；夾緊機構(4)，所述夾緊機構(4)設置有多組，夾緊機構(4)分別設置在高溫箱體(1)的內部。

2.如權利要求1所述基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：所述高溫箱體(1)還包括有：夾緊滑槽(101)，夾緊滑槽(101)共設置兩組，夾緊滑槽(101)分別開槽設置在高溫箱體(1)的前后方。

3.如權利要求1所述基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：所述散熱箱(2)還包括有：散熱扇(201)，散熱扇(201)固定連接在散熱箱(2)的上方。

4.如權利要求2所述基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：所述夾緊機構(4)還包括有：夾緊滑桿(402)，夾緊滑桿(402)共設置兩組，夾緊滑桿(402)分別與夾緊滑槽(101)滑動連接，夾緊滑桿(402)一端分別設置有兩個平面結構；限位塊(401)，限位塊(401)共設置兩組，限位塊(401)分別與夾緊滑桿(402)固定連接，其中一組限位塊(401)設置為杠鈴狀；放置板(403)，放置板(403)共設置兩組，放置板(403)分別與夾緊滑桿(402)固定連接，放置板(403)分別設置有放置槽；彈性塊(404)，彈性塊(404)共設置兩組，彈性塊(404)分別固定連接在兩組放置板(403)的中間上下方。

5.如權利要求4所述基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：所述夾緊機構(4)還包括有：篩選槽(405)，篩選槽(405)共設置兩組，篩選槽(405)分別開槽設置在放置板(403)的下方。

6.如權利要求1所述基于晶圓片高溫烘烤治具連接結構，其特征在于：所述放置機構(3)還包括有：放置卡箱(303)，放置卡箱(303)與放置滑槽(102)滑動連接；把手(301)，把手(301)固定連接在放置卡箱(303)的前方；放置卡槽(302)，放置卡槽(302)開槽設置在放置卡箱(303)的前方。