[實(shí)用新型]一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220413734.2
• 申請(qǐng)日: 2022-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN217358788U
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周環(huán)宇;周立平;劉英斌;楊凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西爍科晶體有限公司
• 主分類號(hào): G01K11/14
• 分類號(hào): G01K11/14;G01K1/00;B08B5/02
• 代理公司: 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 14109
• 代理人: 吳立;冷錦超

1.一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：包括測(cè)溫窗（4）、旋轉(zhuǎn)升降系統(tǒng)、灰塵吹掃系統(tǒng)（10）、石英片透光率檢測(cè)系統(tǒng)；所述測(cè)溫窗（4）設(shè)置于真空腔體（1）的開孔（2）上方，所述旋轉(zhuǎn)升降系統(tǒng)包括升降氣缸（6）、旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8），旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）固定設(shè)置在升降氣缸（6）的伸縮桿上端，旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）的輸出軸與測(cè)溫窗（4）通過水平的連接桿（9）相連接；灰塵吹掃系統(tǒng)（10）設(shè)置于測(cè)溫窗（4）的一側(cè)，包括吹掃頭（16）、吹掃底座（15）、升降機(jī)構(gòu)，吹掃頭（16）通過升降機(jī)構(gòu)固定在吹掃底座（15）上，吹掃頭（16）的頂端設(shè)置有一個(gè)豎直的雙層管道（17），雙層管道（17）的內(nèi)部設(shè)置有相套接的壓縮空氣管道（20）與真空管道（21）；所述石英片透光率檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)置于灰塵吹掃系統(tǒng)（10）的一側(cè)，包括光源接收傳感器（22）及其上方的透光率檢測(cè)光源（14）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：所述雙層管道（17）與旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）輸出軸之間的距離等于測(cè)溫窗（4）與旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）輸出軸之間的距離；所述光源接收傳感器（22）與旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）輸出軸之間的距離等于測(cè)溫窗（4）與旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）輸出軸之間的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：真空腔體（1）的開孔（2）的開口上邊緣設(shè)置有O型密封圈（3）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：測(cè)溫窗（4）的下端設(shè)置有測(cè)溫窗底座（5），所述測(cè)溫窗底座（5）為圓柱體結(jié)構(gòu)，測(cè)溫窗底座（5）設(shè)置于開孔（2）的上方并且與開孔（2）同軸設(shè)置；測(cè)溫窗底座（5）的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，下端為開口結(jié)構(gòu)，上端與測(cè)溫窗（4）相連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：所述升降氣缸（6）設(shè)置于真空腔體（1）的上表面外側(cè)并且位于開孔（2）的一側(cè)，升降氣缸（6）的缸底一端固定連接在真空腔體（1）的上表面上，升降氣缸（6）的伸縮桿一端豎直向上設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：升降氣缸（6）的一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)支架（7），旋轉(zhuǎn)電機(jī)支架（7）的下端固定設(shè)置在真空腔體（1）的上表面上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)支架（7）靠近旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）的一側(cè)側(cè)面上設(shè)置有豎直的滑槽，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）的側(cè)面上設(shè)置有滑桿，滑桿遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)電機(jī)（8）的一端滑動(dòng)連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)支架（7）的滑槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：所述吹掃底座（15）為上端面開有凹槽的圓柱體結(jié)構(gòu)，吹掃底座（15）固定設(shè)置在真空腔體（1）的上表面上，吹掃底座（15）上端面的凹槽為圓柱形凹槽，凹槽內(nèi)部插接有吹掃頭（16），所述吹掃頭（16）在凹槽內(nèi)部上下滑動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：所述吹掃頭（16）的側(cè)面設(shè)置有滑動(dòng)座，所述滑動(dòng)座內(nèi)設(shè)置有上下貫通的螺紋孔；所述凹槽的內(nèi)壁上設(shè)置有滑動(dòng)槽，滑動(dòng)槽與凹槽相連通并且長(zhǎng)度與其相等，吹掃頭（16）側(cè)面的滑動(dòng)座位于所述滑動(dòng)槽內(nèi)部并且可以在滑動(dòng)槽內(nèi)上下滑動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：所述吹掃底座（15）的下端面固定設(shè)置有一個(gè)升降電機(jī)（18），升降電機(jī)（18）的輸出軸豎直向上設(shè)置，升降電機(jī)（18）的輸出軸上固定設(shè)置一根豎直的絲桿（19），所述絲桿（19）螺接于滑動(dòng)座的螺紋孔內(nèi)部。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔體測(cè)溫窗自動(dòng)清潔檢測(cè)裝置，其特征在于：透光率檢測(cè)光源支架（13）豎直設(shè)置于光源接收傳感器（22）的一側(cè)，透光率檢測(cè)光源（14）固定設(shè)置于透光率檢測(cè)光源支架（13）的上端，并且透光率檢測(cè)光源支架（13）的光源發(fā)出方向?yàn)樨Q直向下，透光率檢測(cè)光源（14）位于光源接收傳感器（22）的正上方。