[實用新型]一種旋轉靶材

有效

• 申請號: 202220406840.8
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN217378016U
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 臧龍杰;周俊榮;齊東淼;沈雷振;曾靜
• 申請（專利權）人: 昆山世高新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種旋轉靶材，包括管狀靶材基體和襯管，襯管安裝于靶材基體內，襯管的兩端延伸至靶材基體的外部；襯管的外壁上設置有外螺紋，靶材基體的內壁上設置有內螺紋，靶材與襯管之間通過螺紋配合的方式進行連接，無需銦焊或者膠焊，因此不存在焊料熔化流出滴落膜面的現象，提高了旋轉靶材的使用效果。

技術領域

本實用新型屬于工業濺渡靶材技術領域，涉及到一種旋轉靶材。

背景技術

磁控濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，因其高致密度、優良附著性等優點，在電子薄膜、光學薄膜、光電薄膜、磁性薄膜和超導薄膜等技術領域得到廣泛的應用。旋轉靶材在使用過程中能夠圍繞在固定的磁控濺射設備上旋轉，可360°均勻刻蝕靶面，這樣均勻的使用可使鍍膜均勻、穩定性高、成品率高，靶材利用率可高達80％以上，因此隨著上述領域的高速發展，旋轉靶材的需求量急劇增加。

目前旋轉靶材的綁定基本工藝為：將內表面金屬化的靶管套在經過處理的襯管外表面，靶管和金屬襯管之間通過銦焊或者膠焊粘結。高溫膠的導電導熱效果較差，在濺射過程中會出現導電不良，散熱效果不好等問題，在靶材回收利用時，解焊也較為困難，因此并未得到廣泛使用。旋轉靶材在綁定的過程中，需要對金屬襯管和靶管進行加熱，然后把熔化的銦料填充到靶管和金屬襯管的縫隙里，隨后冷卻、銦料固化，將靶管牢牢地固定在襯管上。

但是，銦的熔點較低，對機臺濺射功率和冷卻系統要求較為嚴格，當溫度超過焊料的熔點，金屬焊料就會熔化流出滴落在膜面上，或者導致靶材受熱不均勻開裂(陶瓷靶)，而且銦的成本較高，其加工費甚至高于鋁/石墨靶材本身的價格。因此，如何實現對旋轉靶材進行高質量的綁定貼合，提升焊接率(貼合率)是本實用新型要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：如何實現對旋轉靶材進行高質量的綁定貼合。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下：

一種旋轉靶材，包括管狀靶材基體和襯管，所述襯管的外壁上設置有外螺紋，靶材基體的內壁上設置有與所述外螺紋適配的內螺紋，所述襯管安裝于所述靶材基體內，所述襯管的兩端延伸至所述靶材基體的外部。

與現有技術相比，本實用新型具有的有益效果是：

1.靶材與襯管之間通過螺紋配合的方式進行連接，無需銦焊或者膠焊，降低了材料成本，減少了工序和工時，提高了生產效率；

2.旋轉靶材中沒有銦料，因此不存在焊料熔化流出滴落膜面的現象，提高了旋轉靶材的使用效果；

3.旋轉靶材中未使用焊料，因此在回收階段，不存在解焊的問題，利于靶材的回收利用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為旋轉靶材的示意圖；

圖2為襯管的示意圖；

圖3為靶材基體的示意圖；

圖4為襯管與套管的連接示意圖；

圖5為襯管與套管的分解示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合實施例，對本實用新型進行進一步的詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。

實施例