[實用新型]一種旋轉靶材有效
| 申請號： | 202220406840.8 | 申請日： | 2022-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN217378016U | 公開（公告）日： | 2022-09-06 |
| 發明（設計）人： | 臧龍杰;周俊榮;齊東淼;沈雷振;曾靜 | 申請（專利權）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉靶材，其特征在于，包括管狀靶材基體和襯管，所述襯管的外壁上設置有外螺紋，靶材基體的內壁上設置有與所述外螺紋適配的內螺紋，所述襯管安裝于所述靶材基體內，所述襯管的兩端延伸至所述靶材基體的外部。
2.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述襯管的壁厚為3mm。
3.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述襯管的兩端靠近管口處設置有一端直徑縮小的連接端，所述連接端的直徑單邊縮小0.1mm。
4.根據權利要求3所述的旋轉靶材，其特征在于，所述襯管的兩端安裝有套管，所述套管的外層端面抵接于所述連接端的臺階面上。
5.根據權利要求4所述的旋轉靶材，其特征在于，所述套管的端面與所述靶材基體之間形成的間距為4mm。
6.根據權利要求4所述的旋轉靶材，其特征在于，所述連接端的外部設置有一圈弧形卡槽，所述套管的外層管的內壁設置有一圈與所述弧形卡槽適配的弧形凸起。
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