[實用新型]一種研磨檢驗平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220389568.7
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN216871902U
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設計）人: 袁強;黃金良;劉磊;高美山
• 申請（專利權）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王峰

1.一種研磨檢驗平臺，包括可移動的顯微鏡載物臺，所述顯微鏡載物臺上設置有檢驗基臺，其特征在于，所述檢驗基臺呈矩形，檢驗基臺上表面的四個側(cè)邊處均設置有側(cè)擋條，四根側(cè)擋條圍成矩形，每根側(cè)擋條的內(nèi)側(cè)均貼靠設置有定位卡條，各定位卡條圍成的矩形區(qū)域內(nèi)設置有柔性軟墊，柔性軟墊的材質(zhì)為防靜電泡沫棉，所述柔性軟墊上貫穿開設有相鄰設置的中心槽和進入槽，中心槽位于柔性軟墊中部，進入槽位于柔性軟墊右側(cè)，柔性軟墊上位于中心槽外周開設有C形放置槽，放置槽的槽深小于中心槽的槽深，放置槽內(nèi)放置有晶圓。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨檢驗平臺，其特征在于，前后兩側(cè)的所述定位卡條朝內(nèi)一側(cè)的下部均沿長度方向開設有定位卡槽，定位卡槽的截面呈矩形，柔性軟墊的前后兩側(cè)均設置有定位側(cè)墊，定位側(cè)墊的厚度小于柔性軟墊的厚度，兩個定位側(cè)墊分別卡入相應定位卡槽內(nèi)。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種研磨檢驗平臺，其特征在于，右側(cè)的所述側(cè)擋條和定位卡條上均開設有與進入槽相對應的通過槽。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的一種研磨檢驗平臺，其特征在于，所述柔性軟墊的表面設置有四道橫向檢測線和五道縱向檢測線。

5.根據(jù)權利要求1或2所述的一種研磨檢驗平臺，其特征在于，所述側(cè)擋條和檢驗基臺的材質(zhì)均為玻璃，定位卡條的材質(zhì)為硬塑料。

6.根據(jù)權利要求1或2所述的一種研磨檢驗平臺，其特征在于，與所述柔性軟墊相對應設置有真空吸筆。