[實用新型]一種腔室系統的泄壓控制裝置

有效

• 申請號: 202220377981.1
• 申請日: 2022-02-23
• 公開（公告）號: CN216895965U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 張志明;劉雷;林桂榮;邢志剛
• 申請（專利權）人: 楚赟精工科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16K17/02
• 分類號: F16K17/02
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

本實用新型提供了一種腔室系統的泄壓控制裝置，該系統包括：腔室，包括頂板、底板和側板，所述頂板具有開口部；泄壓板，位于所述開口部上，用于蓋合所述開口部；密封部，包括至少2個密封件，所述密封部設于所述頂板和所述泄壓板之間，相鄰的所述密封件之間形成環形腔；真空裝置，與所述環形腔連接，用于控制所述環形腔內的壓力，使所述頂板與所述泄壓板密封連接，當所述腔室內的壓力達到開啟壓力時，所述泄壓板開啟，所述腔室內的氣體由所述泄壓板排出，本實用新型通過設置可精確控制開啟壓力的泄壓板，避免了影響腔室內部件更換的耐壓選擇范圍，增強了系統的可靠性。

技術領域

本實用新型涉及半導體處理設備領域，尤其涉及一種腔室系統的泄壓控制裝置。

背景技術

現有腔室系統中如果采用冷卻水對石英等非金屬反應腔蓋組件進行冷卻以減少預反應，由于反應腔內的反應區域溫度會超過1300℃，會存在非金屬材質開裂，水蒸氣膨脹造成系統腔室內的高壓風險。如果采用泄壓板對腔室進行密封，那么泄壓板的開啟壓力則由泄壓板的材料和厚度決定，如果更換腔室內的部件，若該部件能承受的最大壓力小于該泄壓板的開啟壓力，則會導致部件損壞，因此更換部件的可選擇范圍變窄，一旦有其他需求，則需重新定制泄壓板。因此，如何精確控制腔室的泄壓開啟壓力，從而避免影響腔室內部件更換的耐壓選擇范圍，是目前需要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種腔室系統的泄壓控制裝置，可精確控制泄壓壓力，解決了水蒸氣膨脹造成的高壓風險的問題，增強了系統的可靠性。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種腔室系統的泄壓控制裝置，包括：腔室，包括頂板，所述頂板具有開口部；泄壓板，位于所述開口部上，用于蓋合所述開口部；密封部，包括至少2個密封件，所述密封部設于所述頂板和所述泄壓板之間，相鄰的所述密封件之間形成環形腔；真空裝置，與所述環形腔連接，用于控制所述環形腔內的壓力，使所述頂板與所述泄壓板密封連接；當所述腔室內的壓力達到開啟壓力時，所述泄壓板開啟，所述腔室內的氣體由所述泄壓板排出。

本實用新型的提供的腔室系統的泄壓控制裝置有益效果在于：通過設置至少2個密封件從而形成至少1個環形腔，且環形腔與真空裝置連接，使環形腔可通過真空裝置調節壓力大小，從而可精確控制泄壓開啟壓力，不僅解決了水蒸氣膨脹造成的高壓風險的問題，還避免了影響腔室內部件更換的耐壓選擇范圍，增強了系統的可靠性

可選的，所述開啟壓力根據所述真空裝置控制所述環形腔內的壓力進行調節。

可選的，所述環形腔至少為2個，所述真空裝置與所述環形腔一一對應連接。其有益效果在于：使每個環形腔可單獨調節壓力大小，可進一步精確控制泄壓開啟壓力，進一步擴大腔室內更換的耐壓選擇范圍。

可選的，還包括真空測量裝置，所述真空測量裝置與所述環形腔一一對應連接。

可選的，還包括排氣組件，所述排氣組件與所述腔室導通，所述排氣組件包括排氣管路、動力泵和泄壓閥，所述排氣管路的一端與所述腔室導通，所述排氣管路的另一端與動力泵連接，所述泄壓閥與所述動力泵并聯設置。其有益效果在于：在腔室系統上還設置泄壓閥，進一步提高了系統的可靠性。

可選的，所述泄壓閥與所述動力泵尾端連接至尾氣處理裝置。其有益效果在于：通過將泄壓閥與動力泵尾端連接至尾氣處理裝置，避免了環境的污染。

可選的，所述腔室內設有反應腔，所述排氣組件與所述反應腔導通，所述反應腔內設有蓋組件、承載盤和與所述蓋組件相對設置的底部組件，所述承載盤用于承載基板，所述蓋組件內設有冷卻腔，所述冷卻腔用于通入冷卻液體，所述底部組件開設有開口，所述承載盤可活動的設于所述開口，當執行工藝生長過程時，所述承載盤的上表面與所述底部組件的上表面高度持平。

可選的，所述外腔室的材質為金屬。

可選的，所述蓋組件的材質為耐高溫的非金屬材質。

附圖說明