[實用新型]一種腔室系統的泄壓控制裝置

有效

• 申請號: 202220377981.1
• 申請日: 2022-02-23
• 公開（公告）號: CN216895965U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 張志明;劉雷;林桂榮;邢志剛
• 申請（專利權）人: 楚赟精工科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16K17/02
• 分類號: F16K17/02
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，包括：

腔室，包括頂板，所述頂板具有開口部；

泄壓板，位于所述開口部上，用于蓋合所述開口部；

密封部，包括至少2個密封件，所述密封部設于所述頂板和所述泄壓板之間，相鄰的所述密封件之間形成環形腔；

真空裝置，與所述環形腔連接，用于控制所述環形腔內的壓力，使所述頂板與所述泄壓板密封連接；

當所述腔室內的壓力達到開啟壓力時，所述泄壓板開啟，所述腔室內的氣體由所述泄壓板排出。

2.根據權利要求1所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述開啟壓力根據所述真空裝置控制所述環形腔內的壓力進行調節。

3.根據權利要求1所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述環形腔至少為2個，所述真空裝置與所述環形腔一一對應連接。

4.根據權利要求3所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，還包括真空測量裝置，所述真空測量裝置與所述環形腔一一對應連接。

5.根據權利要求1所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，還包括排氣組件，所述排氣組件與所述腔室導通，所述排氣組件包括排氣管路、動力泵和泄壓閥，所述排氣管路的一端與所述腔室導通，所述排氣管路的另一端與動力泵連接，所述泄壓閥與所述動力泵并聯設置，所述腔室內的氣體可由所述泄壓閥排出。

6.根據權利要求5所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述泄壓閥與所述動力泵的尾端連接至尾氣處理裝置。

7.根據權利要求6所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述腔室內設有反應腔，所述排氣組件與所述反應腔導通，所述反應腔內設有蓋組件、承載盤和與所述蓋組件相對設置的底部組件，所述承載盤用于承載基板，所述蓋組件內設有冷卻腔，所述冷卻腔用于通入冷卻液體，所述底部組件開設有開口，所述承載盤可活動的設于所述開口。

8.根據權利要求1所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述腔室的材質為金屬。

9.根據權利要求7所述的腔室系統的泄壓控制裝置，其特征在于，所述蓋組件的材質為耐高溫的非金屬。