[實用新型]一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置

有效

• 申請號: 202220349160.7
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN216727996U
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 林超;林偉
• 申請（專利權）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10;B05C11/00;B05C9/14
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 張楊

1.一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，包括：

光刻膠瓶體(1)，所述光刻膠瓶體(1)用于盛放光刻膠；

過濾組件，用于對所述光刻膠里的大顆粒雜質進行過濾，所述過濾組件的輸入口與所述光刻膠瓶體(1)通過出液管(4)連通，所述過濾組件的輸出口通過后端管路(8)與滴嘴(9)連通；

旋轉組件，用于旋轉所述后端管路(8)，以改變所述滴嘴(9)的水平位置。

2.根據權利要求1所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述光刻膠瓶體(1)的頂部可拆卸連接有光刻膠瓶蓋(2)，貫穿所述光刻膠瓶蓋(2)的上表面設有進氣管(3)和出液管(4)，所述進氣管(3)的進氣端連接有供氣裝置。

3.根據權利要求2所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述供氣裝置包括但不限于為氣泵。

4.根據權利要求2或3所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述進氣管(3)上設有電磁閥。

5.根據權利要求1所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述過濾組件包括過濾殼體(5)，所述過濾殼體(5)內設置有用于過濾大顆粒雜質的濾芯，所述過濾殼體(5)的輸入口連接有出液管(4)，所述過濾殼體(5)的輸出口連接有第一連接管(13)。

6.根據權利要求5所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述旋轉組件包括豎向設置的固定支架(6)，所述固定支架(6)的側面水平設置有支撐板(6a)，所述支撐板(6a)的上表面轉動設置有旋鈕(7)，所述支撐板(6a)內設置有密封軸承(12)，所述密封軸承(12)與所述旋鈕(7)同軸設置，所述后端管路(8)呈“L”型，且所述后端管路(8)遠離所述滴嘴(9)的一端穿過所述旋鈕(7)的側壁通過所述密封軸承(12)與所述第一連接管(13)連接。

7.根據權利要求2所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述光刻膠瓶蓋(2)與所述光刻膠瓶體(1)的連接方式包括但不限于為螺紋連接。

8.根據權利要求1所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述后端管路(8)與滴嘴(9)可拆卸連接。

9.根據權利要求8所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述滴嘴(9)與所述后端管路(8)螺紋連接或者所述滴嘴(9)插接在所述后端管路(8)上。

10.根據權利要求2所述的一種IC用掩膜版半自動滴膠裝置，其特征在于，所述光刻膠瓶蓋(2)與所述出液管(4)和進氣管(3)一體成型。