[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220342197.7
• 申請(qǐng)日: 2022-02-21
• 公開（公告）號(hào): CN216745463U
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙海軍;孟慶昌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島海通達(dá)微電子有限公司
• 主分類號(hào): F27D5/00
• 分類號(hào): F27D5/00
• 代理公司: 山東易佰捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37326
• 代理人: 李勇鵬

本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置，解決了現(xiàn)有的擴(kuò)散爐用石英舟傳送設(shè)備對(duì)多個(gè)石英舟進(jìn)行傳送時(shí)，不便于調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)石英舟之間的距離，在實(shí)際使用時(shí)，存在一定局限性的問題，其包括固定座，所述固定座的一側(cè)設(shè)有活動(dòng)座，活動(dòng)座和固定座通過驅(qū)動(dòng)組件連接，活動(dòng)座的一側(cè)固定連接有第一石英舟放置座，第一石英舟放置座的兩側(cè)均設(shè)有第二石英舟放置座，第二石英舟放置座和活動(dòng)座通過滑動(dòng)單元連接，第二石英舟放置座靠近第一石英舟放置座的一側(cè)開設(shè)有螺紋槽，第一石英舟放置座的一側(cè)開設(shè)有通孔；可以調(diào)節(jié)兩個(gè)第二石英舟放置座之間的距離，進(jìn)而便于根據(jù)實(shí)際需求，調(diào)節(jié)若干個(gè)石英舟之間的距離。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置。

背景技術(shù)

在光伏行業(yè)，高溫?cái)U(kuò)散爐主要用于對(duì)單晶硅片、多晶硅片進(jìn)行摻雜，形成PN結(jié)。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，人們一直在追求產(chǎn)能的提升。其中，石英舟是擴(kuò)散時(shí)的常用工具。

石英舟是用于承載硅片的器具，常規(guī)的擴(kuò)散爐，爐管為石英材質(zhì)，現(xiàn)有的石英舟的結(jié)構(gòu)，使硅片放置在石英舟上后，然后通過驅(qū)動(dòng)組件使得石英舟移動(dòng)至指定位置。

目前現(xiàn)有的擴(kuò)散爐用石英舟傳送設(shè)備對(duì)多個(gè)石英舟進(jìn)行傳送時(shí)，不便于調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)石英舟之間的距離，在實(shí)際使用時(shí)，存在一定的局限性。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置，有效的解決了上述背景技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用以下的技術(shù)方案：

一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置，包括固定座，所述固定座的一側(cè)設(shè)有活動(dòng)座，活動(dòng)座和固定座通過驅(qū)動(dòng)組件連接，活動(dòng)座的一側(cè)固定連接有第一石英舟放置座，第一石英舟放置座的兩側(cè)均設(shè)有第二石英舟放置座，第二石英舟放置座和活動(dòng)座通過滑動(dòng)單元連接，第二石英舟放置座靠近第一石英舟放置座的一側(cè)開設(shè)有螺紋槽，第一石英舟放置座的一側(cè)開設(shè)有通孔，第一石英舟放置座的一側(cè)設(shè)有雙向絲桿，雙向絲桿貫穿通孔，固定座上設(shè)有與雙向絲桿相配合的第一軸承，第一石英舟放置座的底部開設(shè)有凹槽，凹槽的頂部?jī)?nèi)壁與通孔的內(nèi)壁相連通，凹槽內(nèi)設(shè)有按壓板，第一石英舟放置座的下方設(shè)有活動(dòng)板，按壓板的底部固定連接有固定板，固定板貫穿活動(dòng)板，活動(dòng)板的頂部與按壓板的底部通過壓縮彈簧連接，活動(dòng)板和第一石英舟放置座通過調(diào)節(jié)單元連接。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述驅(qū)動(dòng)組件包括兩個(gè)設(shè)置于活動(dòng)座底部的固定塊，固定塊與活動(dòng)座固定連接，固定座的一側(cè)設(shè)有螺紋桿和固定柱，固定柱的一端與固定座的一側(cè)固定連接，螺紋桿的一端與固定座的一側(cè)通過第二軸承連接，螺紋桿和固定柱分別貫穿兩個(gè)固定塊，且螺紋桿與固定塊的連接方式為螺紋連接。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述固定座的底部固定連接有電機(jī)座，電機(jī)座的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端設(shè)有第一齒輪，第一齒輪的一側(cè)設(shè)有第二齒輪，螺紋桿貫穿第二齒輪，且螺紋桿與第二齒輪固定連接。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述調(diào)節(jié)單元包括兩個(gè)設(shè)置于第一石英舟放置座底部的螺紋柱，螺紋柱與第一石英舟放置座固定連接，螺紋柱貫穿活動(dòng)板，螺紋柱的外部套設(shè)有螺母，且螺母的頂部與活動(dòng)板的底部相接觸。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述按壓板上設(shè)有防滑墊，防滑墊與雙向絲桿相接觸。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述滑動(dòng)單元包括兩個(gè)開設(shè)于活動(dòng)座一側(cè)的滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)有滑塊，滑塊的一側(cè)與第二石英舟放置座的一側(cè)固定連接。

作為本實(shí)用新型所述的一種擴(kuò)散爐多工位傳送裝置的一種優(yōu)選實(shí)時(shí)方案，其中，所述固定板的底部固定連接有拉環(huán)，雙向絲桿上固定連接有把手，雙向絲桿的兩端分別位于兩個(gè)螺紋槽內(nèi)。