[實用新型]一種擴散爐多工位傳送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220342197.7
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN216745463U
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設計）人: 趙海軍;孟慶昌
• 申請（專利權）人: 青島海通達微電子有限公司
• 主分類號: F27D5/00
• 分類號: F27D5/00
• 代理公司: 山東易佰捷知識產權代理事務所(普通合伙) 37326
• 代理人: 李勇鵬

1.一種擴散爐多工位傳送裝置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)的一側設有活動座(2)，活動座(2)和固定座(1)通過驅動組件連接，活動座(2)的一側固定連接有第一石英舟放置座(3)，第一石英舟放置座(3)的兩側均設有第二石英舟放置座(4)，第二石英舟放置座(4)和活動座(2)通過滑動單元連接，第二石英舟放置座(4)靠近第一石英舟放置座(3)的一側開設有螺紋槽(5)，第一石英舟放置座(3)的一側開設有通孔(7)，第一石英舟放置座(3)的一側設有雙向絲桿(6)，雙向絲桿(6)貫穿通孔(7)，固定座(1)上設有與雙向絲桿(6)相配合的第一軸承(8)，第一石英舟放置座(3)的底部開設有凹槽(9)，凹槽(9)的頂部內壁與通孔(7)的內壁相連通，凹槽(9)內設有按壓板(10)，第一石英舟放置座(3)的下方設有活動板(11)，按壓板(10)的底部固定連接有固定板(12)，固定板(12)貫穿活動板(11)，活動板(11)的頂部與按壓板(10)的底部通過壓縮彈簧(13)連接，活動板(11)和第一石英舟放置座(3)通過調節(jié)單元連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述驅動組件包括兩個設置于活動座(2)底部的固定塊(16)，固定塊(16)與活動座(2)固定連接，固定座(1)的一側設有螺紋桿(14)和固定柱(15)，固定柱(15)的一端與固定座(1)的一側固定連接，螺紋桿(14)的一端與固定座(1)的一側通過第二軸承(17)連接，螺紋桿(14)和固定柱(15)分別貫穿兩個固定塊(16)，且螺紋桿(14)與固定塊(16)的連接方式為螺紋連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述固定座(1)的底部固定連接有電機座(18)，電機座(18)的一側設有驅動電機(19)，驅動電機(19)的輸出端設有第一齒輪(20)，第一齒輪(20)的一側設有第二齒輪(21)，螺紋桿(14)貫穿第二齒輪(21)，且螺紋桿(14)與第二齒輪(21)固定連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述調節(jié)單元包括兩個設置于第一石英舟放置座(3)底部的螺紋柱(22)，螺紋柱(22)與第一石英舟放置座(3)固定連接，螺紋柱(22)貫穿活動板(11)，螺紋柱(22)的外部套設有螺母(23)，且螺母(23)的頂部與活動板(11)的底部相接觸。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述按壓板(10)上設有防滑墊(24)，防滑墊(24)與雙向絲桿(6)相接觸。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述滑動單元包括兩個開設于活動座(2)一側的滑槽(27)，滑槽(27)內設有滑塊(28)，滑塊(28)的一側與第二石英舟放置座(4)的一側固定連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種擴散爐多工位傳送裝置，其特征在于：所述固定板(12)的底部固定連接有拉環(huán)(25)，雙向絲桿(6)上固定連接有把手(26)，雙向絲桿(6)的兩端分別位于兩個螺紋槽(5)內。