[實用新型]卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組

有效

• 申請號: 202220334601.6
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN217077778U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 夏文豪;金湛;曹蔚琦;馮歡;駱中濤
• 申請（專利權）人: 重慶諾獎二維材料研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 黃宗波

1.卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述抽真空控制系統包括兩個初級抽真空機構和一個深度抽真空機構，兩個所述初級抽真空機構分別作用于鍍膜腔室其中一側的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，所述初級抽真空機構包括第一粗抽真空組、第二粗抽真空組、第三粗抽真空組，所述第一粗抽真空組對第一腔室和第二腔室進行粗抽真空，所述第二粗抽真空組對第三腔室進行粗抽真空，所述第三粗抽真空組對第四腔室進行粗抽真空；所述深度抽真空機構作用于鍍膜腔室兩側的第五腔室、第六腔室和第七腔室，所述深度抽真空機構包括一個第四粗抽機組、兩個第一精抽機組和兩個第二精抽機組，所述第四粗抽機組對兩側的第五腔室、第六腔室和第七腔室進行粗抽真空，兩個所述第一精抽機組分別對其中一側的第五腔室和第六腔室進行精抽真空，兩個所述第二精抽機組分別對兩側的第七腔室進行精抽真空。

2.根據權利要求1所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第一粗抽真空組包括第一粗抽泵、第一粗抽閥和第二粗抽閥，所述第一粗抽泵的抽氣端與第一腔室、第二腔室均連通，所述第一粗抽閥安裝在第一腔室與第一粗抽泵之間，所述第二粗抽閥安裝在第二腔室與第一粗抽泵之間。

3.根據權利要求2所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第二粗抽真空組包括第二粗抽泵和第三粗抽閥；所述第二粗抽泵的抽氣端與第三腔室連通，所述第三粗抽閥安裝在第二腔室與第一粗抽泵之間。

4.根據權利要求3所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第三粗抽真空組包括第三粗抽泵、第一羅茨泵和第四粗抽閥，所述第三粗抽泵的抽氣端與第一羅茨泵的出氣端連通，所述第一羅茨泵的抽氣端與第四腔室連通，所述第四粗抽閥安裝在第四腔室和第一羅茨泵之間。

5.根據權利要求1-4任一權利要求所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第四粗抽機組包括第四粗抽泵、第二羅茨泵、兩個第五粗抽閥和兩個第六粗抽閥，所述第四粗抽泵的抽氣端與第一羅茨泵的出氣端連通，所述第一羅茨泵的抽氣端與兩側的第五腔室、第六腔室、第七腔室均連通，每個所述第五粗抽閥均安裝在第二羅茨泵和位于同一側的第五腔室、第六腔室之間，每個所述第六粗抽閥均安裝在第二羅茨泵和其中一個第七腔室之間。

6.根據權利要求5所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第一精抽機組包括第一擴散泵、第一精抽閥和第二精抽閥，所述第一擴散泵的抽氣端與同一側的第五腔室、第六腔室均連通，所述第一精抽閥安裝在第一擴散泵和第五腔室之間，所述第二精抽閥安裝在第一擴散泵和第六腔室之間。

7.根據權利要求6所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第一精抽機組還包括維持泵和維持閥，所述維持泵的抽氣端與第一擴散泵的出氣端相連，所述維持閥安裝在維持泵和第一擴散泵之間。

8.根據權利要求6或7所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：所述第二精抽機組包括第二擴散泵和第三精抽閥，所述第二擴散泵的抽氣端與其中一個第七腔室連通，所述第三精抽閥安裝在第二擴散泵與第七腔室之間。

9.根據權利要求8所述的卷對卷鍍膜系統用的抽真空機組，其特征在于：兩個所述第二擴散泵的出氣端均與第二羅茨泵的抽氣端連通，且所述第二羅茨泵與兩個第二擴散泵之間安裝有總前置閥。