[實(shí)用新型]加料管和具有其的單晶生長設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220328367.6
• 申請日: 2022-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN217556346U
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳俊宏;邢微波
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/02
• 分類號(hào): C30B15/02;C30B15/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 吳婷

1.一種加料管，用于單晶生長設(shè)備，其特征在于，所述單晶生長設(shè)備包括：坩堝和所述加料管，所述坩堝適于盛放硅熔湯，所述加料管包括：

管本體，所述管本體限定出輸料通道和多個(gè)用于儲(chǔ)放硅原料的儲(chǔ)料腔，多個(gè)所述儲(chǔ)料腔均和所述輸料通道連通，所述輸料通道適于將多個(gè)所述儲(chǔ)料腔內(nèi)的硅原料投放至所述坩堝；

開關(guān)組件，所述開關(guān)組件適于分別控制多個(gè)所述儲(chǔ)料腔與所述輸料通道的通斷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料管，其特征在于，所述管本體包括：

外管；

內(nèi)管，所述內(nèi)管位于所述外管的內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)管限定出所述輸料通道；

多個(gè)隔板，多個(gè)所述隔板間隔設(shè)于所述外管與所述內(nèi)管之間，多個(gè)所述隔板與所述外管以及所述內(nèi)管共同限定出多個(gè)所述儲(chǔ)料腔，所述內(nèi)管上形成有與多個(gè)所述儲(chǔ)料腔一一對應(yīng)的多個(gè)連通口，所述連通口連通所述儲(chǔ)料腔和所述輸料通道，所述開關(guān)組件適于打開或關(guān)閉多個(gè)所述連通口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加料管，其特征在于，多個(gè)所述隔板沿所述內(nèi)管的周向間隔布置，多個(gè)所述隔板與所述外管以及所述內(nèi)管共同限定出沿所述內(nèi)管的軸向延伸且沿所述內(nèi)管的周向間隔布置的多個(gè)所述儲(chǔ)料腔，所述連通口位于所述儲(chǔ)料腔的鄰近底端的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加料管，其特征在于，所述儲(chǔ)料腔的底壁沿所述內(nèi)管的徑向向內(nèi)且沿軸向向下的方向傾斜延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加料管，其特征在于，所述開關(guān)組件包括：

多個(gè)開關(guān)門，多個(gè)所述開關(guān)門與多個(gè)所述連通口一一對應(yīng)且適配，所述開關(guān)門沿所述內(nèi)管的軸向且遠(yuǎn)離所述坩堝的一端與所述內(nèi)管樞轉(zhuǎn)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料管，其特征在于，還包括：

驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件與所述管本體相連，所述驅(qū)動(dòng)件適于驅(qū)動(dòng)所述管本體繞所述管本體的中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)多個(gè)所述儲(chǔ)料腔轉(zhuǎn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料管，其特征在于，還包括：導(dǎo)向蓋，所述導(dǎo)向蓋適于封堵所述輸料通道的鄰近所述坩堝的一端，所述導(dǎo)向蓋適于在第一位置和第二位置之間移動(dòng)，所述導(dǎo)向蓋在所述第一位置時(shí)，所述輸料通道被關(guān)閉，所述導(dǎo)向蓋在所述第二位置時(shí)，所述輸料通道被打開，所述儲(chǔ)料腔內(nèi)的硅原料適于通過所述輸料通道輸送至所述坩堝。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加料管，其特征在于，所述導(dǎo)向蓋適于沿所述管本體的軸向所述第一位置和所述第二位置之間移動(dòng)，在沿所述管本體的軸向且遠(yuǎn)離所述管本體的方向上，所述導(dǎo)向蓋的至少部分沿徑向向外傾斜延伸形成導(dǎo)向面，

所述導(dǎo)向蓋的直徑大于所述輸料通道的直徑，所述導(dǎo)向蓋位于所述第一位置時(shí)，所述導(dǎo)向面封堵所述輸料通道，所述導(dǎo)向蓋在所述第二位置時(shí)，所述導(dǎo)向面與所述管本體沿軸向間隔開，所述儲(chǔ)料腔內(nèi)的硅原料適于沿所述導(dǎo)向面輸送到所述坩堝內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加料管，其特征在于，所述導(dǎo)向蓋包括：

第一導(dǎo)向部，所述第一導(dǎo)向部在參考面內(nèi)的投影形成為半圓形，所述第一導(dǎo)向部適于將硅原料投放至所述坩堝的第一區(qū)域；

第二導(dǎo)向部，所述第二導(dǎo)向部在參考面內(nèi)的投影形成為半圓形，所述第二導(dǎo)向部在參考面內(nèi)的投影的半徑小于所述第一導(dǎo)向部在參考面內(nèi)的投影的半徑，所述第二導(dǎo)向部與所述第一導(dǎo)向部沿徑向相對且相連，所述第二導(dǎo)向部適于將硅原料投放至所述坩堝的第二區(qū)域，所述第二區(qū)域在參考面內(nèi)的投影位于所述第一區(qū)域在參考面內(nèi)的投影的內(nèi)側(cè)，所述參考面垂直于所述輸料通道的中心軸線，

所述導(dǎo)向蓋還適于繞所述輸料通道的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述第一導(dǎo)向部或所述第二導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng)至需要投放硅料的所述儲(chǔ)料腔的下側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料管，其特征在于，多個(gè)所述儲(chǔ)料腔適于分別存儲(chǔ)不同尺寸的硅原料，多個(gè)所述儲(chǔ)料腔按照所存儲(chǔ)的硅原料的尺寸大小沿所述管本體的周向依次布置。