[實用新型]一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220281893.1
• 申請日: 2022-02-11
• 公開（公告）號: CN216947187U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設計）人: 鐘興進;何淑英;何浩梁;林玉章
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 廣州正馳知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 44536
• 代理人: 唐傳妹

本實用新型公布了一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結(jié)構(gòu)，包括反應器殼體，反應器殼體上前后對稱設有進氣組件，進氣組件下方的反應器殼體外壁固接有電機，進氣組件包括閥筒、轉(zhuǎn)軸和閥座，閥筒上固接有集氣罩，集氣罩位置的閥筒上開設有出氣孔，集氣罩上固接有出氣管，出氣管的頭部固接有加熱筒，本實用新型的有益效果是，通過進氣組件的設置使得兩種氣態(tài)原材料輸送到反應器殼體中的時間錯開，從而使得一種氣態(tài)原材料輸送完成后，并在反應器殼體中大致分布均勻后，另一種氣態(tài)原材料才會輸送，可以有效提高反應的均勻程度，進而使得沉積膜的厚度均勻，通過加熱筒可以對輸送到反應器殼體中的氣態(tài)原材料進行加熱而提高其溫度，提高反應的效果。

技術領域

本實用新型涉及化學氣相沉淀技術領域，具體涉及一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結(jié)構(gòu)。

背景技術

化學氣相沉積是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，在化學氣相沉積的時候，將兩種氣態(tài)的原材料通入到反應室，然后他們相互之間發(fā)生化學反應，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上。

現(xiàn)有技術中，兩種氣態(tài)的原材料一般同時通入到反應室中，導致氣態(tài)原料還沒有均勻分布在反應室中時即發(fā)生反應，從而導致各處的反應不均勻，進而導致晶片上沉積膜的厚度不均勻，且氣態(tài)的原材料在輸送的過程中，其溫度不斷下降，現(xiàn)有技術中，未在入口處設置加熱裝置對氣態(tài)的原材料進行溫度的補充，導致反應器中的氣態(tài)的原材料溫度不夠高，進而導致反應效果不好。

實用新型內(nèi)容

為解決上述問題，本實用新型提供了一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結(jié)構(gòu)，本實用新型是通過以下技術方案來實現(xiàn)的。

一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結(jié)構(gòu)，包括反應器殼體，所述反應器殼體上前后對稱設有進氣組件，進氣組件下方的反應器殼體外壁固接有電機；

所述進氣組件包括閥筒、轉(zhuǎn)軸和閥座；所述閥筒的右端固定連接在反應器殼體中，閥筒的內(nèi)腔截面尺寸為矩形，閥筒的中部固接有集氣罩，所述集氣罩所罩合區(qū)域的閥筒各側(cè)板上開設有出氣孔，集氣罩的各側(cè)板上固接有出氣管，所述出氣管的頭部與反應器殼體連通，閥筒的左端固接有連接罩，所述連接罩所罩合區(qū)域的閥筒各側(cè)板上開設有進氣孔，連接罩的左側(cè)板上固接有進氣管，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在閥筒的左右側(cè)板之間，轉(zhuǎn)軸的右端伸出到閥筒外并固接有傳動輪，閥筒內(nèi)的轉(zhuǎn)軸上開設有往復螺紋槽，前后兩側(cè)轉(zhuǎn)軸上的往復螺紋槽旋向相反，所述閥座滑動連接在閥筒中，閥座的中心固接有與往復螺紋槽嚙合的往復螺紋套；

所述電機設有水平向右的輸出軸，電機的輸出軸轉(zhuǎn)動連接在反應器殼體中，電機的輸出軸右端固接有驅(qū)動輪，所述驅(qū)動輪與兩個所述傳動輪通過皮帶共同聯(lián)動。

進一步地，所述閥座的外圈固接有橡膠密封墊，閥座通過密封墊密封滑動連接在閥筒中。

進一步地，各所述出氣管的頭部連接有加熱筒，所述加熱筒的外部固接有保溫罩，所述保溫罩的頭部固接在反應器殼體中，加熱筒的右側(cè)板上開設有送氣口，保溫罩內(nèi)的加熱管外壁固接有螺旋形狀的加熱絲。

進一步地，所述加熱筒的內(nèi)壁固接有螺旋形狀的導風板。

進一步地，所述電機通過調(diào)速旋鈕與外部電源電性連接。

本實用新型的有益效果是，通過進氣組件的設置使得兩種氣態(tài)原材料輸送到反應器殼體中的時間錯開，從而使得一種氣態(tài)原材料輸送完成后，并在反應器殼體中大致分布均勻后，另一種氣態(tài)原材料才會輸送，可以有效提高反應的均勻程度，進而使得沉積膜的厚度均勻，通過加熱筒可以對輸送到反應器殼體中的氣態(tài)原材料進行加熱而提高其溫度，提高反應的效果。

附圖說明