[實用新型]一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220281893.1
• 申請日: 2022-02-11
• 公開（公告）號: CN216947187U
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設計）人: 鐘興進;何淑英;何浩梁;林玉章
• 申請（專利權）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 廣州正馳知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44536
• 代理人: 唐傳妹

1.一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構，包括反應器殼體，其特征在于：所述反應器殼體上前后對稱設有進氣組件，進氣組件下方的反應器殼體外壁固接有電機；

所述進氣組件包括閥筒、轉軸和閥座；所述閥筒的右端固定連接在反應器殼體中，閥筒的內腔截面尺寸為矩形，閥筒的中部固接有集氣罩，所述集氣罩所罩合區(qū)域的閥筒各側板上開設有出氣孔，集氣罩的各側板上固接有出氣管，所述出氣管的頭部與反應器殼體連通，閥筒的左端固接有連接罩，所述連接罩所罩合區(qū)域的閥筒各側板上開設有進氣孔，連接罩的左側板上固接有進氣管，所述轉軸轉動連接在閥筒的左右側板之間，轉軸的右端伸出到閥筒外并固接有傳動輪，閥筒內的轉軸上開設有往復螺紋槽，前后兩側轉軸上的往復螺紋槽旋向相反，所述閥座滑動連接在閥筒中，閥座的中心固接有與往復螺紋槽嚙合的往復螺紋套；

所述電機設有水平向右的輸出軸，電機的輸出軸轉動連接在反應器殼體中，電機的輸出軸右端固接有驅動輪，所述驅動輪與兩個所述傳動輪通過皮帶共同聯(lián)動。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構，其特征在于：所述閥座的外圈固接有橡膠密封墊，閥座通過密封墊密封滑動連接在閥筒中。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構，其特征在于：各所述出氣管的頭部連接有加熱筒，所述加熱筒的外部固接有保溫罩，所述保溫罩的頭部固接在反應器殼體中，加熱筒的右側板上開設有送氣口，保溫罩內的加熱管外壁固接有螺旋形狀的加熱絲。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構，其特征在于：所述加熱筒的內壁固接有螺旋形狀的導風板。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應器的氣體入口結構，其特征在于：所述電機通過調速旋鈕與外部電源電性連接。