[實用新型]晶圓分離機構

有效

• 申請號: 202220235512.6
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217946879U
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發明（設計）人: 李遷;童燦釗;趙冬冬;劉航;劉佳鑫;劉盛;巫禮杰;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 深圳眾鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44325
• 代理人: 張小燕

1.一種晶圓分離機構，其特征在于，包括驅動裝置、連接架、吸取組件和控制裝置；

所述吸取組件包括吸取裝置和感應裝置，所述感應裝置的一端與所述連接架連接，所述感應裝置的另一端與所述吸取裝置連接；

所述驅動裝置用于驅動所述連接架向下移動，以使所述吸取裝置向下移動以吸取承載晶圓，以及用于驅動所述連接架向上移動，以使所述吸取裝置吸取承載晶圓一起向上移動使其與固定在載臺上的器件晶圓分離；

所述驅動裝置、所述感應裝置和所述控制裝置電連接；所述感應裝置用于檢測承載晶圓與器件晶圓分離過程中的拉力并反饋至所述控制裝置；所述控制裝置用于根據所述感應裝置反饋的拉力超過拉力預設值時，控制所述驅動裝置停止工作。

2.根據權利要求1所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述感應裝置還用于檢測所述吸取裝置向下移動過程中與所述承載晶圓之間的壓力并反饋至所述控制裝置；所述控制裝置用于根據所述感應裝置反饋的壓力超過壓力預設值時，控制所述驅動裝置停止驅動所述連接架向下移動。

3.根據權利要求2所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述吸取裝置包括防回轉緩沖吸盤、吸盤固定件和抽真空裝置，所述吸盤固定件的一端與所述感應裝置連接，所述吸盤固定件的另一端與所述防回轉緩沖吸盤連接，所述抽真空裝置與所述防回轉緩沖吸盤連接。

4.根據權利要求3所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述吸取組件設置有多個，多個所述吸取組件沿圓周方向均布在所述連接架上。

5.根據權利要求4所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述連接架包括轉接件和固定在所述轉接件上的圓形固定板；所述驅動裝置用于驅動所述轉接件上下移動；多個所述吸取組件位于所述圓形固定板上，所述感應裝置與所述圓形固定板連接。

6.根據權利要求5所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述圓形固定板上設置有多個條形孔，所述條形孔沿所述圓形固定板的直徑方向延伸，所述條形孔與所述吸取組件一一對應設置，所述感應裝置通過緊固件固定在所述條形孔內。

7.根據權利要求5所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述轉接件包括第一轉接板和第二轉接板，所述第一轉接板垂直固定在所述第二轉接板的頂面的一端，所述第一轉接板的背離所述第二轉接板的一側面與所述驅動裝置連接，所述第二轉接板的底面與所述圓形固定板連接。

8.根據權利要求1所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述晶圓分離機構還包括安裝件；所述驅動裝置包括設置在所述安裝件上的驅動電機和滾珠絲杠機構；所述滾珠絲杠機構的螺母與所述連接架連接，所述滾珠絲杠機構的螺桿與所述驅動電機的輸出端連接；所述驅動電機用于驅動所述螺桿旋轉，以使所述螺母沿所述螺桿上下移動。

9.根據權利要求8所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述晶圓分離機構還包括導向裝置，所述導向裝置設置在所述安裝件上，所述導向裝置用于導向所述連接架的移動。

10.根據權利要求9所述的晶圓分離機構，其特征在于，所述導向裝置包括導軌和滑塊，所述導軌固定在所述安裝件上，所述滑塊連接所述連接架和所述滾珠絲杠機構的螺母。