[實(shí)用新型]一種微機(jī)電結(jié)構(gòu)、麥克風(fēng)以及終端

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220234155.1
• 申請(qǐng)日: 2022-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN218514506U
• 公開（公告）日: 2023-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 榮根蘭;曹斌斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/00
• 分類號(hào): H04R19/00;H04R19/04;H04R7/16
• 代理公司: 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449
• 代理人: 甄丹鳳

1.一種微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

襯底，具有腔體；

第一支撐部，位于所述襯底上；

第一功能層，位于所述第一支撐部上；

第二支撐部，位于所述第一功能層上；

第二功能層，位于所述第二支撐部上，與所述第一功能層之間具有間隙；以及

多個(gè)第三支撐部，位于所述第一功能層和所述第二功能層之間；

其中，所述第一功能層為振膜和背板中的一種，所述第二功能層為所述振膜和所述背板中的另一種；

所述振膜上具有多個(gè)泄氣結(jié)構(gòu)，所述泄氣結(jié)構(gòu)包括螺旋狀的懸梁，螺旋狀的懸梁之間形成螺旋狀的泄氣孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述懸梁和所述泄氣孔呈螺旋的圓弧形、多邊形或者不規(guī)則形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰的所述懸梁等間距分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述懸梁之間的間距為0.5um～5um。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述懸梁的寬度為0.5um～5um。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部為中空的柱體結(jié)構(gòu)，所述第三支撐部在所述振膜上的投影為環(huán)狀，每個(gè)所述第三支撐部在所述振膜上的環(huán)狀投影內(nèi)部分布有一個(gè)或更多個(gè)泄氣結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部與所述背板和/或所述振膜固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部與所述背板一體成形。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部通過絕緣膠與所述振膜固定連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部采用絕緣材料。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部在所述背板上的投影為環(huán)狀，每個(gè)所述第三支撐部在所述背板上的環(huán)狀投影內(nèi)分布一個(gè)聲孔。

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，位于所述第三支撐部在所述背板上的環(huán)狀投影內(nèi)部的聲孔的形狀以及尺寸與所述第三支撐部的內(nèi)壁在所述背板上的環(huán)狀投影的形狀以及尺寸相同。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部在所述背板上的投影為環(huán)狀，每個(gè)所述第三支撐部在所述背板上的環(huán)狀投影內(nèi)均勻分布多個(gè)聲孔。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部?jī)?nèi)壁和外壁在所述振膜以及所述背板上的投影為圓形、多邊形、不規(guī)則圖形中的一種、幾種或其組合。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三支撐部的壁厚為0.5um～5um。

16.一種麥克風(fēng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至15任意一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)。

17.一種終端，其特征在于，包括權(quán)利要求16所述的麥克風(fēng)。