[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 202220230825.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217335909U
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 孟燕子;榮根蘭
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00;H04R19/04
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;岳丹丹

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：

由下至上依次層疊的襯底、第一犧牲層、下背極板、第二犧牲層、振膜、第三犧牲層、上背極板，以及第一電極和第二電極，

所述下背極板經由第一導電通道和第二導電通道與所述第一電極電連接，所述振膜經由第三導電通道與所述第二電極電連接，

其中，所述第一導電通道至所述第三導電通道中的至少一個包括：

貫穿所述第二犧牲層和/或所述第三犧牲層的多個通孔，相鄰通孔之間相互隔離，導電材料填充所述通孔。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一導電通道至所述第三導電通道分別包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于絕緣層上，所述第二部分位于所述多個通孔中。

3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述下背極板經由所述第一導電通道的第二部分、第一導電通道的第一部分、第二導電通道的第二部分、第二導電通道的第一部分與第一電極電連接。

4.根據權利要求3所述的MEMS麥克風，其特征在于，第一導電通道的第一部分的上表面與第二導電通道的第二部分直接電接觸。

5.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔沿所述襯底表面的形狀包括：圓形、矩形、三角形和邊數大于四的多邊形。

6.根據權利要求5所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述多個通孔呈陣列式排布。

7.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔沿所述襯底表面的形狀包括：圓環形、矩環形、三角環形和邊數大于四的多邊環形。

8.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述多個通孔呈陣列式排布。

9.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述多個通孔呈同心陣列式排布。

10.根據權利要求8所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔包括環形部分和圓形部分，所述多個通孔呈陣列式排布。

11.根據權利要求5-10中任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔的數量為3-20個。

12.根據權利要求5所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔的直徑為10-20um。

13.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔沿襯底表面方向的寬度為10-20um。

14.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一導電通道與所述振膜同時形成。

15.根據權利要求14所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第二導電通道和/或所述第三導電通道與所述上背極板的導電層同時形成。

16.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：第三電極，所述第三電極與所述上背極板電連接。