[實用新型]一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置

有效

• 申請號: 202220227564.9
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217334021U
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 鄧信甫;黃茂烘;陳丁堃
• 申請（專利權）人: 上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海智力專利商標事務所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，其結構包括干燥腔、蓋在干燥腔上端的蓋體、設置在干燥腔內部的擺動結構、用以驅動擺動結構擺動的驅動裝置；所述干燥腔的底部一側設有用以向干燥腔內注入異丙醇液體的異丙醇注入管，干燥腔的底部設有用以將干燥腔內異丙醇液體排出的異丙醇排放管；在靠近干燥腔上端的位置設有向干燥腔注入加熱氮氣的氮氣加注管，在靠近干燥腔上端側壁的位置設有氮氣排放管；干燥腔內靠近干燥腔上端邊緣設有溢流槽，溢流槽的底部設有用以溢流槽內溢流液體排放的溢流排放管。

2.根據權利要求1所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述擺動機構包括擺動平臺、支撐在擺動平臺下端中部的支撐部，擺動活動安裝在支撐部上，支撐部固定在干燥腔內，擺動平臺可以沿著支撐部周期旋轉。

3.根據權利要求2所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括電機、驅動輪、聯動桿、導向裝置、驅動桿，所述驅動輪一側設有傳動軸，所述驅動輪另外一側設有偏心軸，所述電機與傳動軸同軸連接，所述聯動桿的一端與偏心軸活動連接，所述聯動桿的另外一端活動連接驅動桿一端，所述驅動桿一側設有限制驅動桿直線運動的導向裝置；所述驅動桿另外一端傳動連接到擺動平臺的一端上部。

4.根據權利要求3所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述蓋體上設有用以驅動桿穿過的孔。

5.根據權利要求3所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述電機安裝在電機安裝座上；所述電機導向裝置包括導向導軌、導向板，所述導向導軌固定在電機安裝座上，所述導向板配合導向導軌安裝，導向板可相對導向導軌上下滑動；所述聯動桿一端活動連接到導向板；所述驅動桿的一端與導向板固定連接，所述驅動桿的另外一端與擺動平臺活動連接。

6.根據權利要求2所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述擺動平臺上端設有晶圓盒安裝槽，所述晶圓盒活動嵌入晶圓盒安裝槽內。

7.根據權利要求1所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述干燥腔的底部設有傾斜的底板，所述底板呈V型分布在干燥腔的底部，所述異丙醇排放管設置在V型分布的底板的中心底部。

8.根據權利要求1所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述蓋體下端設有若干噴氣口，所述噴氣口連接到氮氣加注管；所述氮氣排放管設置在溢流槽的側壁上。

9.根據權利要求1所述的一種具有晶圓干燥擺動機構的干燥裝置，其特征在于，所述干燥腔外部還設有用以監測干燥腔內液位高度的液位檢測裝置。