[實用新型]一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置

有效

• 申請號: 202220227315.X
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217119823U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 顏永振;楊忍;周聰聰
• 申請（專利權）人: 蘇州中輝激光科技有限公司
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26;B01D53/02;B01D53/22;B01D46/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 喬峰

本實用新型公開了一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置，包括依次連通的前端過濾器、空氣壓縮機、儲氣罐、氣體油霧過濾器、防結霜管、顆粒過濾器、膜式氣體干燥器和出口調節閥，前端過濾器在空氣壓縮機作用下吸入外部空氣，其用于初步過濾外部空氣，儲氣罐用于存儲初步過濾的外部空氣，氣體油霧過濾器用于去除氣體中的油霧，防結霜管用于干燥氣體，顆粒過濾器用于過濾氣體中的顆粒，膜式氣體干燥器用于降低氣體濕度，出口調節閥調節出口端氣體的流量和壓力，出口調節閥輸出的氣體通入碟片激光器所處的腔體環境中。本實用新型提供的潔凈干燥氣體發生裝置能夠精確制造所需壓力和流量的潔凈干燥空氣，保證碟片激光器始終處于潔凈干燥空氣中。

技術領域

本實用新型涉及潔凈干燥氣體發生裝置技術領域，特別涉及一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置。

背景技術

激光器在高功率運行狀態下，需要無塵、干燥的腔體環境，一旦發生內部空氣污染，對于激光器的損壞是致命的，會導致腔體內部個別乃至全部光學鏡片失效、損毀。目前，一般僅采用密閉激光器腔體的方式隔絕外界污染環境。但這種方法存在著兩個問題：

(1)密封的時效性：隨著密封器件的老化，會導致腔體密封性受到影響，一旦密封性能受損，隨著腔體與外界的溫差而產生的壓力差，會導致激光器腔體內部被外界空氣污染。

(2)維護的難度：由于激光器內部的密封結構，不能打開腔體直接進行維護，因此只能將腔體放入潔凈空氣環境中去進行售后維護，這增加了維護的時間和成本。

因此，激光器需要對一種新的保護裝置以保證周圍環境的潔凈，而目前氣體發生器的潔凈程度不高，容易殘留粉塵和水蒸氣，無法精確制造所需壓力和流量的潔凈干燥氣體，并且智能化調控程度低，無法進行自主監控。

實用新型內容

為了解決現有技術的問題，本實用新型提供了一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置，所述技術方案如下：

提供了一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置，所述潔凈干燥氣體發生裝置用于使得碟片激光器處于潔凈干燥氣體環境中，所述潔凈干燥氣體發生裝置包括依次連通的前端過濾器、空氣壓縮機、儲氣罐、氣體油霧過濾器、防結霜管、顆粒過濾器、膜式氣體干燥器和出口調節閥，所述前端過濾器在所述空氣壓縮機作用下吸入外部空氣，其用于初步過濾外部空氣，所述儲氣罐用于存儲初步過濾的外部空氣，所述氣體油霧過濾器用于去除氣體中的油霧，所述防結霜管用于干燥氣體，所述顆粒過濾器用于過濾氣體中的顆粒，所述膜式氣體干燥器用于降低氣體濕度，所述出口調節閥用于調節出口端氣體的流量和壓力，所述出口調節閥輸出的氣體通入所述碟片激光器所處的腔體環境中。

進一步地，所述出口調節閥包括壓力調節閥和流量調節閥，所述壓力調節閥用于調節氣體的出口壓力，所述流量調節閥用于調節氣體的出口流量。

進一步地，所述潔凈干燥氣體發生裝置還包括控制器，所述出口調節閥為電控閥門，所述控制器與所述出口調節閥和所述空氣壓縮機電連接，所述空氣壓縮機預設有與所述出口調節閥的閥門開度對應的輸出功率，所述控制器用于根據所述出口調節閥的閥門開度將所述空氣壓縮機調至預設輸出功率。

進一步地，所述潔凈干燥氣體發生裝置還包括流量壓力表，所述流量壓力表設置在所述出口調節閥處，其用于檢測所述出口調節閥處的氣體壓力和流量。

進一步地，所述潔凈干燥氣體發生裝置還包括警報器，所述流量壓力表為電子流量壓力表，所述控制器與所述警報器和電子流量壓力表電連接；所述電子流量壓力表檢測的數值與所述出口調節閥的調控數值差值超出預設范圍時，所述控制器控制所述警報器發出警報。

進一步地，所述顆粒過濾器包括活性炭過濾器和/或微顆粒過濾器，所述活性炭過濾器用于去除碳氫化合物，所述微顆粒過濾器用于過濾99％-99.99％的粒子，使得過濾后的粒子濃度符合百級潔凈度標準。