[實用新型]一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置

有效

• 申請號: 202220227315.X
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217119823U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 顏永振;楊忍;周聰聰
• 申請（專利權）人: 蘇州中輝激光科技有限公司
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26;B01D53/02;B01D53/22;B01D46/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 喬峰

1.一種用于碟片激光器的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述潔凈干燥氣體發生裝置用于使得碟片激光器處于潔凈干燥氣體環境中，所述潔凈干燥氣體發生裝置包括依次連通的前端過濾器(1)、空氣壓縮機(2)、儲氣罐(3)、氣體油霧過濾器、防結霜管(7)、顆粒過濾器、膜式氣體干燥器(10)和出口調節閥，所述前端過濾器(1)在所述空氣壓縮機(2)作用下吸入外部空氣，其用于初步過濾外部空氣，所述儲氣罐(3)用于存儲初步過濾的外部空氣，所述氣體油霧過濾器用于去除氣體中的油霧，所述防結霜管(7)用于干燥氣體，所述顆粒過濾器用于過濾氣體中的顆粒，所述膜式氣體干燥器(10)用于降低氣體濕度，所述出口調節閥用于調節出口端氣體的流量和壓力，所述出口調節閥輸出的氣體通入所述碟片激光器所處的腔體環境中。

2.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述出口調節閥包括壓力調節閥(12)和流量調節閥(13)，所述壓力調節閥(12)用于調節氣體的出口壓力，所述流量調節閥(13)用于調節氣體的出口流量。

3.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，還包括控制器，所述出口調節閥為電控閥門，所述控制器與所述出口調節閥和所述空氣壓縮機(2)電連接，所述空氣壓縮機(2)預設有與所述出口調節閥的閥門開度對應的輸出功率，所述控制器用于根據所述出口調節閥的閥門開度將所述空氣壓縮機(2)調至預設輸出功率。

4.根據權利要求3所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，還包括流量壓力表，所述流量壓力表設置在所述出口調節閥處，其用于檢測所述出口調節閥處的氣體壓力和流量。

5.根據權利要求4所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，還包括警報器，所述流量壓力表為電子流量壓力表，所述控制器與所述警報器和電子流量壓力表電連接；所述電子流量壓力表檢測的數值與所述出口調節閥的調控數值差值超出預設范圍時，所述控制器控制所述警報器發出警報。

6.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述顆粒過濾器包括活性炭過濾器(8)和/或微顆粒過濾器(9)，所述活性炭過濾器(8)用于去除碳氫化合物，所述微顆粒過濾器(9)用于過濾99％-99.99％的粒子，使得過濾后的粒子濃度符合百級潔凈度標準。

7.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述膜式氣體干燥器(10)設有進氣口，出氣口、反吹入口和反吹出口，所述膜式氣體干燥器(10)內部設有用于分離水蒸氣的中空纖維膜(16)，所述顆粒過濾器輸出的空氣依次經過進氣口、中空纖維膜(16)和出氣口后輸出，所述出氣口輸出的一部分氣體作為反吹氣體輸入所述反吹入口，以將所述中空纖維膜(16)分離出的水蒸氣從所述反吹出口導出。

8.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述氣體油霧過濾器包括空氣過濾器(4)、油霧分離器(5)、微霧分離器(6)，所述儲氣罐(3)輸出的空氣依次進過空氣過濾器(4)、油霧分離器(5)、微霧分離器(6)后進入所述防結霜管(7)中。

9.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述防結霜管(7)為分子膜式氣體干燥管。

10.根據權利要求1所述的潔凈干燥氣體發生裝置，其特征在于，所述空氣壓縮機(2)為微型無油空氣壓縮機。