[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 202220227056.0
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217112142U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 趙迎新
• 申請（專利權）人: 賀利氏光伏科技（上海）有限公司
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 劉敏;吳鵬

本實用新型提供一種掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，該掃描電鏡樣品臺包括基座(2)和可拆卸地固定連接到所述基座的樣品臺本體(3)，所述樣品臺本體(3)具有用于粘貼樣品(S)的貼樣部(4)和用于將所述樣品臺本體(3)連接到所述基座(2)的連接部(5)，其中所述貼樣部(4)由垂直于所述連接部的上端面向上延伸并彼此相交的至少兩塊板(6)構成，以提供至少八個豎直的平面貼樣區(60)，所述至少兩塊板與所述連接部一體形成。這種掃描電鏡樣品臺可將樣品側向垂直粘貼，觀察量更多，粘貼面積更大，效果更穩定，速度更快，可節省大量時間，提高觀察效果。

技術領域

本實用新型涉及掃描電鏡檢測領域的樣品安裝工具，尤其涉及一種掃描電鏡樣品臺。

背景技術

掃描電子顯微鏡(SEM)，簡稱為掃描電鏡，其是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察用電子設備，其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。

掃描電鏡檢測，簡稱SEM檢測，是利用掃描電鏡進行檢測的一種測試方法，其具有兩個基本功能：一是可以將樣品表面放大25倍至100萬倍；二是可以對樣品表面的微區域中的元素進行定性和定量分析。

如果將樣品放入掃描電鏡設備中，則需要一個符合設備的標準尺寸的固定裝置。目前市場上的固定裝置不適合觀察硅晶片的橫截面，因此需要一種設計成能將被測樣品安裝在更穩定、更大面積上的固定裝置，例如樣品臺。

目前市場上用于安裝樣品的掃描電鏡樣品臺大多為圓柱體，可以將硅晶片或粉末粘貼在圓柱體的圓形端面上，也可以將硅晶片粘貼在樣品臺的圓柱形側面上。這種樣品臺不容易觀察到粘貼在樣品臺的圓柱形側面上的樣品，并且硅晶片不易粘貼，或者粘貼后穩定性差，晶片可能會晃動。

發明內容

因此，本實用新型的目的是解決現有技術中的問題，提供一種不僅觀察量更多、粘貼面積更大、效果更穩定，而且可以節省大量時間、提高觀察效果的掃描電鏡樣品臺。

為此，本實用新型提供一種掃描電鏡樣品臺，所述樣品臺本體具有用于粘貼樣品的貼樣部和用于將所述樣品臺本體連接到所述基座的連接部，其中所述貼樣部由垂直于所述連接部的上端面向上延伸并彼此相交的至少兩塊板構成，以提供至少八個豎直的平面貼樣區，所述至少兩塊板與所述連接部一體形成。在上述掃描電鏡樣品臺中，通過提供這種構造的貼樣部，能夠在平的貼樣面上更穩定地粘貼樣品，并且可以粘貼較大量的樣品。

在一個優選的方案中，所述板為矩形板，所述基座的連接部構造為圓柱形連接部。

在一個優選方案中，至少兩塊矩形板可以在它們的中間位置處相交，并且其交線與圓柱形連接部的中心軸線重合，從而能夠提供基本相同的平面貼樣區。

在根據本實用新型的一個方案中，至少兩塊矩形板可以為三塊矩形板，相鄰的兩塊矩形板之間的夾角為60°，以提供十二個豎直的平面貼樣區。在一個替代方案中，所述至少兩塊矩形板可以為四塊矩形板，相鄰的兩塊矩形板之間的夾角為45°，以提供十六個豎直的平面貼樣區。應當理解，這里矩形板的數目僅僅是示例性的，其可以根據實際應用的需要進行選擇。例如兩塊、五塊矩形板等同樣涵蓋在本申請的范圍內，以提供數目符合要求的平面貼樣區。

在一個優選方案中，所述基座可以構造為圓筒形基座，在該基座的內周面上可設有內螺紋，同時在該圓柱形連接部的外周面上設有相應的外螺紋，所述樣品臺本體通過所述外螺紋和所述內螺紋的配合而螺紋連接到該基座。采用螺紋連接具有方便快捷的優點。但本領域技術人員應當理解，其它合適的連接方式同樣涵蓋在本申請的范圍內。

在本實用新型中，所述掃描電鏡樣品臺通過所述基座可拆卸地固定連接到掃描電鏡的樣品倉內。

在一個可選方案中，在所述基座的圓筒形側壁上設有兩個安裝孔，這兩個安裝孔為備用安裝孔，其可以與緊固件配合將掃描電鏡樣品臺安裝在掃描電鏡的樣品倉內。