[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 202220227056.0
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217112142U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 趙迎新
• 申請（專利權）人: 賀利氏光伏科技（上海）有限公司
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 劉敏;吳鵬

1.一種掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，包括基座(2)和可拆卸地固定連接到所述基座的樣品臺本體(3)，所述樣品臺本體(3)具有用于粘貼樣品(S)的貼樣部(4)和用于將所述樣品臺本體(3)連接到所述基座(2)的連接部(5)，其中所述貼樣部(4)由垂直于所述連接部的上端面向上延伸并彼此相交的至少兩塊板(6)構成，以提供至少八個豎直的平面貼樣區(60)，所述至少兩塊板與所述連接部一體形成。

2.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，所述板(6)為矩形板，所述基座(2)的連接部(5)為圓柱形連接部。

3.根據權利要求2所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，至少兩塊所述矩形板在它們的中間位置處相交，其交線與所述圓柱形連接部的中心軸線重合。

4.根據權利要求3所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，至少兩塊所述矩形板為三塊矩形板，相鄰的兩塊矩形板之間的夾角為60°，以提供十二個豎直的平面貼樣區(60)。

5.根據權利要求3所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，至少兩塊所述矩形板為四塊矩形板，相鄰的兩塊矩形板之間的夾角為45°，以提供十六個豎直的平面貼樣區(60)。

6.根據權利要求2至5中任一項所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，所述基座(2)構造為圓筒形基座，在該基座的內周面上設有內螺紋(21)；在該圓柱形連接部的外周面上設有相應的外螺紋(51)，所述樣品臺本體(3)通過所述外螺紋(51)和所述內螺紋(21)的配合而螺紋連接到該基座。

7.根據權利要求6所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，在所述基座(2)的圓筒形側壁上設有兩個安裝孔(20)。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的掃描電鏡樣品臺(1)，其特征在于，所述掃描電鏡樣品臺通過所述基座(2)可拆卸地固定連接到掃描電鏡的樣品倉內。