[實用新型]一種光刻機的晶片傳送機構

有效

• 申請號: 202220222040.0
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217085508U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 胡德立
• 申請（專利權）人: 江蘇微影半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種光刻機的晶片傳送機構，包括第一殼體，所述第一殼體上安裝有電機，所述電機的輸出軸固定有連桿，所述連桿上固定有圓柱狀的撥塊，所述第一殼體的頂部通過支架固定有固定座，所述固定座的側邊設置有晶片出料口，所述第一殼體上轉動套接有空心的轉軸，所述轉軸上套接有槽輪和定位盤，所述定位盤轉動套接在固定座內，所述定位盤上設置有呈圓周陣列布置的晶片放置口，所述第一殼體的內部固定有固定軸，所述固定軸活動貫穿轉軸，所述固定軸上固定有安裝板，所述安裝板上安裝有推料機構。本實用新型操作方便，傳送效率高。

技術領域

本實用新型涉及光刻機技術領域，尤其涉及一種光刻機的晶片傳送機構。

背景技術

光刻機是制造芯片的核心裝備，光刻機的晶片在進行光刻時需要經過上料、加工、出料等步驟，現有的這些過程無法集中在一起實現連續的傳送，對整個生產的效率具有一定的影響，針對這樣的問題我們提出一種光刻機的晶片傳送機構。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種光刻機的晶片傳送機構。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種光刻機的晶片傳送機構，包括第一殼體，所述第一殼體上安裝有電機，所述電機的輸出軸固定有連桿，所述連桿上固定有圓柱狀的撥塊，所述第一殼體的頂部通過支架固定有固定座，所述固定座的側邊設置有晶片出料口，所述第一殼體上轉動套接有空心的轉軸，所述轉軸上套接有槽輪和定位盤，所述定位盤轉動套接在固定座內，所述定位盤上設置有呈圓周陣列布置的晶片放置口，所述第一殼體的內部固定有固定軸，所述固定軸活動貫穿轉軸，所述固定軸上固定有安裝板，所述安裝板上安裝有推料機構。

優選的，所述推料機構包括液壓缸、齒輪架、齒輪、第一齒條、推板、第二齒條、第二殼體，所述第二殼體固定在安裝板上，所述第二殼體的內部固定有第一齒條，所述第二殼體的一端安裝有液壓缸，所述液壓缸的活塞桿固定有齒輪架，所述齒輪架上轉動安裝有齒輪，所述第二殼體的側邊滑動貫穿有第二齒條，所述第二齒條的側邊固定有推板，所述第二殼體的底部設置有條形的滑孔，所述推板滑動安裝在滑孔內。

優選的，所述齒輪分別與第一齒條、第二齒條嚙合，所述第二齒條與推板垂直。

優選的，所述晶片放置口設置有四個。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型中，電機的輸出軸帶動連桿轉動，連桿帶動撥塊移動，通過撥塊與槽輪之間的配合可帶動固定軸每次轉動九十度的間歇運動，從而針對晶片放置口可形成不同的工位，比如上料工位、加工工位、推料工位，從而可對晶片進行連續的傳送，晶片開始在上料工位且放置在晶片放置口內，然后轉動九十度后進入加工工位，加工完成后再次轉動九十度進入推料工位；

2、本實用新型中，液壓缸的活塞桿通過齒輪架帶動齒輪移動，齒輪與第一齒條、第二齒條嚙合，由于第一齒條固定，因此，通過齒輪可快速帶動第二齒條移動，通過第二齒條帶動推板將晶片推出，非常方便，晶片推出后推板復位。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種光刻機的晶片傳送機構的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種光刻機的晶片傳送機構的槽輪的結構示意圖；

圖3為本實用新型提出的一種光刻機的晶片傳送機構的固定座的結構示意圖；

圖4為本實用新型提出的一種光刻機的晶片傳送機構的定位盤的結構示意圖；

圖5為本實用新型提出的一種光刻機的晶片傳送機構的推料機構的結構示意圖。