[實用新型]一種光刻機的晶片傳送機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220222040.0
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217085508U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設計）人: 胡德立
• 申請（專利權）人: 江蘇微影半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機的晶片傳送機構，包括第一殼體(1)，其特征在于，所述第一殼體(1)上安裝有電機(5)，所述電機(5)的輸出軸固定有連桿(6)，所述連桿(6)上固定有圓柱狀的撥塊(7)，所述第一殼體(1)的頂部通過支架(3)固定有固定座(8)，所述固定座(8)的側邊設置有晶片出料口(13)，所述第一殼體(1)上轉動套接有空心的轉軸(2)，所述轉軸(2)上套接有槽輪(4)和定位盤(9)，所述定位盤(9)轉動套接在固定座(8)內，所述定位盤(9)上設置有呈圓周陣列布置的晶片放置口(14)，所述第一殼體(1)的內部固定有固定軸(10)，所述固定軸(10)活動貫穿轉軸(2)，所述固定軸(10)上固定有安裝板(11)，所述安裝板(11)上安裝有推料機構(12)。

2.根據權利要求1所述的一種光刻機的晶片傳送機構，其特征在于，所述推料機構(12)包括液壓缸(121)、齒輪架(122)、齒輪(123)、第一齒條(124)、推板(125)、第二齒條(126)、第二殼體(127)，所述第二殼體(127)固定在安裝板(11)上，所述第二殼體(127)的內部固定有第一齒條(124)，所述第二殼體(127)的一端安裝有液壓缸(121)，所述液壓缸(121)的活塞桿固定有齒輪架(122)，所述齒輪架(122)上轉動安裝有齒輪(123)，所述第二殼體(127)的側邊滑動貫穿有第二齒條(126)，所述第二齒條(126)的側邊固定有推板(125)，所述第二殼體(127)的底部設置有條形的滑孔，所述推板(125)滑動安裝在滑孔內。

3.根據權利要求2所述的一種光刻機的晶片傳送機構，其特征在于，所述齒輪(123)分別與第一齒條(124)、第二齒條(126)嚙合，所述第二齒條(126)與推板(125)垂直。

4.根據權利要求1所述的一種光刻機的晶片傳送機構，其特征在于，所述晶片放置口(14)設置有四個。