[實用新型]一種新型真空腔室用狹縫門閥

有效

• 申請號: 202220195992.8
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN217029972U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 張俊峰;趙子東;李青山;魏慶瑄
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: F16K1/20
• 分類號: F16K1/20;F16K1/32;F16K1/46;F16K31/12
• 代理公司: 上海尊肅專利代理事務所(普通合伙) 31454
• 代理人: 李珍珍

本實用新型公開了一種新型真空腔室用狹縫門閥，包括閥板結構、驅動機構與防護罩，所述驅動機構包括門閥主軸、拐臂、連接軸與漲緊套，門閥主軸上裝有閥板結構，門閥主軸兩端通過漲緊套與拐臂連接；所述閥板結構設有多個且其間隔裝于門閥主軸上，每一所述閥板結構均包括密封閥板、鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三、鉸鏈軸、調節螺絲、隔環、門閥擋圈與O型圈，其中密封閥板上設有用于放置O型圈的燕尾槽，密封閥板后端通過鉸鏈軸裝有鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三。本實用新型的狹縫門閥開啟采用鉸鏈結構形式，在閥板翻轉時通過鉸鏈提升，減少了旋轉半徑，節省真空室空間。

技術領域

本實用新型涉及狹縫門閥領域，具體為一種新型真空腔室用狹縫門閥。

背景技術

狹縫門閥是閥門行業的一個難題，也是真空連續線不可或缺的，狹縫門閥的作用是把進/出端鎖定室以及進出口端緩沖室與大氣之間、彼此之間及工藝室之間完全隔離開來，狹縫門閥橫在玻璃通過的方向上，它的開啟和關閉是根據生產期間允許玻璃進入或離開的要求而決定的。

目前在設備上使用的有幾種：

1、平行式閘閥，閘閥是指關閉件(閘板)沿通路中心線的垂直方向移動的閥門。在兩塊平行的門板中間有驅動機構，如波紋管氣缸等。門板上有密封圈。門板下降到封閉口。門板中間的波紋氣缸通入壓縮空氣，波紋管伸長，波紋管兩端的法蘭將門板推到封閉口上，門板上的密封圈與箱體壓緊，這樣出入口被密封了。這種閥門優點是使用可靠，即使箱體壁發生一定的變形也能夠做到良好的密封，缺點是結構復雜，造價高昂，其中一個焊接波紋管氣缸價格是很高的。

2、臺階直壓式閘閥，臺階上熱熔粘接一圈密封圈。與之相對應的臺階是密封面，因為熱熔粘接密封圈的工藝十分復雜，一般廠家掌握不了。另外此閥門只能做到2米以下的寬度，同時此閥門價格同樣很高，該種狹縫閥結構與本申請設計的相似，但是氣缸不是用的標準氣缸，而且是特制氣缸，導致整個閥門價格十分高。以上產品使用性能到達了要求，但是其價格高不適合用在國產的中低端產品上。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型真空腔室用狹縫門閥，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型真空腔室用狹縫門閥，包括閥板結構、驅動機構與防護罩，所述驅動機構包括門閥主軸、拐臂、連接軸與漲緊套，門閥主軸上裝有閥板結構，門閥主軸兩端通過漲緊套與拐臂連接；所述閥板結構設有多個且其間隔裝于門閥主軸上，每一所述閥板結構均包括密封閥板、鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三、鉸鏈軸、調節螺絲、隔環、門閥擋圈與O型圈，其中密封閥板上設有用于放置O型圈的燕尾槽，密封閥板后端通過鉸鏈軸裝有鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三；所述鉸鏈連接板一上端通過隔環裝于門閥主軸上，鉸鏈連接板一下端通過鉸鏈軸活動連接鉸鏈連接板二；所述鉸鏈連接板三與密封閥板上設有調節螺絲、彈簧，且通過調節螺絲、彈簧調節密封閥板，使密封閥板向外凸，從而抵消密封閥板產生的撓度。

優選的，鉸鏈連接板一與門閥主軸通過鍵槽和螺釘固定在一起，且其之間無向對運動；所述門閥主軸通過軸座固定在腔體進出口上方位置，門閥主軸與軸座之間設有無油軸承，門閥主軸能在無油軸承內轉動。

優選的，驅動機構還包括銷軸、銷軸擋塊、狹縫閥軸密封座、軸用彈性擋圈、石墨銅套、聯軸器、氣缸和氣缸連接座，拐臂通過銷軸與氣缸連接，氣缸通過氣缸座安裝在箱體相應位置。

優選的，軸用彈性擋圈設于鉸鏈軸上，軸用彈性擋圈用于軸向限制鉸鏈軸。

優選的，石墨銅套設于門閥主軸外側，石墨銅套為能使門閥主軸持續潤滑的自潤滑軸承石墨銅套。

優選的，連接軸連接于漲緊套端部，連接軸上通過聯軸器、銷軸與驅動裝置連接。

優選的，防護罩包括氣缸罩殼、翻轉門板罩殼，防護罩起到防塵，防護作用。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：