[實用新型]一種新型真空腔室用狹縫門閥

有效

• 申請號: 202220195992.8
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN217029972U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 張俊峰;趙子東;李青山;魏慶瑄
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: F16K1/20
• 分類號: F16K1/20;F16K1/32;F16K1/46;F16K31/12
• 代理公司: 上海尊肅專利代理事務所(普通合伙) 31454
• 代理人: 李珍珍

1.一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于，包括閥板結構、驅動機構與防護罩，所述驅動機構包括門閥主軸(1)、拐臂(3)、連接軸(4)與漲緊套(18)，門閥主軸(1)上裝有閥板結構，門閥主軸(1)兩端通過漲緊套(18)與拐臂(3)連接；所述閥板結構設有多個且其間隔裝于門閥主軸(1)上，每一所述閥板結構均包括密封閥板(2)、鉸鏈連接板一(6)、鉸鏈連接板二(7)、鉸鏈連接板三(8)、鉸鏈軸(9)、調節螺絲(10)、隔環(11)、門閥擋圈(13)與O型圈(17)，其中密封閥板(2)上設有用于放置O型圈(17)的燕尾槽，密封閥板(2)后端通過鉸鏈軸(9)裝有鉸鏈連接板一(6)、鉸鏈連接板二(7)、鉸鏈連接板三(8)；所述鉸鏈連接板一(6)上端通過隔環(11)裝于門閥主軸(1)上，鉸鏈連接板一(6)下端通過鉸鏈軸(9)活動連接鉸鏈連接板二(7)；所述鉸鏈連接板三(8)與密封閥板(2)上設有調節螺絲(10)、彈簧(12)，且通過調節螺絲(10)、彈簧(12)調節密封閥板(2)，使密封閥板(2)向外凸，從而抵消密封閥板(2)產生的撓度。

2.根據權利要求1所述的一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于：所述鉸鏈連接板一(6)與門閥主軸(1)通過鍵槽和螺釘固定在一起，且其之間無向對運動；所述門閥主軸(1)通過軸座(5)固定在腔體進出口上方位置，門閥主軸(1)與軸座(5)之間設有無油軸承，門閥主軸(1)能在無油軸承內轉動。

3.根據權利要求1所述的一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于：所述驅動機構還包括銷軸(14)、銷軸擋塊(15)、狹縫閥軸密封座(16)、軸用彈性擋圈(19)、石墨銅套(20)、聯軸器(21)、氣缸和氣缸連接座，拐臂(3)通過銷軸(14)與氣缸連接，氣缸通過氣缸座安裝在箱體相應位置。

4.根據權利要求3所述的一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于：所述軸用彈性擋圈(19)設于鉸鏈軸(9)上，軸用彈性擋圈(19)用于軸向限制鉸鏈軸(9)。

5.根據權利要求3所述的一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于：所述石墨銅套(20)設于門閥主軸(1)外側，石墨銅套(20)為能使門閥主軸(1)持續潤滑的自潤滑軸承石墨銅套。

6.根據權利要求1所述的一種新型真空腔室用狹縫門閥，其特征在于：所述連接軸(4)連接于漲緊套(18)端部，連接軸(4)上通過聯軸器(21)、銷軸(14)與驅動裝置連接。