[實(shí)用新型]一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220194614.8
• 申請(qǐng)日: 2022-01-25
• 公開（公告）號(hào): CN216743826U
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳銘樞;張龍河;吳春林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門華瀚機(jī)電有限公司
• 主分類號(hào): F17C7/00
• 分類號(hào): F17C7/00;F17C13/00;F04D19/04
• 代理公司: 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所(普通合伙) 35101
• 代理人: 高巍

本實(shí)用新型公開了一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設(shè)備，包括前置結(jié)構(gòu)；設(shè)置在前置結(jié)構(gòu)一側(cè)出氣口的維持結(jié)構(gòu)；與維持結(jié)構(gòu)出氣口相接的精抽結(jié)構(gòu)；分別與前置結(jié)構(gòu)、精抽結(jié)構(gòu)相通的主管道；若干與主管道連接的氣瓶；用于容置氣瓶的加熱箱；可編程控制器，分別與前置結(jié)構(gòu)、維持結(jié)構(gòu)、精抽結(jié)構(gòu)、氣瓶上的控制元件電連接，通過(guò)設(shè)置的加熱箱與可編程控制器，能夠通過(guò)提前編程、自動(dòng)控制的方式對(duì)各個(gè)分支部分進(jìn)行自動(dòng)化控制，只需人工干涉少許步驟，對(duì)工人來(lái)說(shuō)要求較低，不需要記住繁瑣的操作流程，且運(yùn)用加熱箱的加熱方式，使在氣瓶沖氮?dú)鈺r(shí)對(duì)其加熱，其內(nèi)的水份、余液均能被快速蒸發(fā)帶出，氣瓶?jī)?nèi)可填充條件更佳。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種真空設(shè)備，特別是一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設(shè)備。

背景技術(shù)

常規(guī)的氣瓶在進(jìn)行氣體充裝的時(shí)候一般是簡(jiǎn)單的用旋片式真空泵抽空后進(jìn)行充裝，真空度要求在100pa左右，而這種氣瓶充裝出來(lái)的氣體純度一般到99％，為了讓氣瓶充裝出來(lái)的氣體純度提高到99.999％,需要把氣瓶?jī)?nèi)的氣體、水份、以及附著在氣瓶?jī)?nèi)表面上的氣體分子和水份子充份抽空。

但是：

1.現(xiàn)有的設(shè)備多數(shù)為手動(dòng)操作，由于整個(gè)步驟的流程較多，故較為的麻煩，人工操作容易出現(xiàn)失誤的現(xiàn)象，且是采用吸附的方式去除掉水份，水份的去除不完全。

2.現(xiàn)有的抽空管道都是采用手動(dòng)閥門，在停泵時(shí)會(huì)有泵油返回到管道及氣瓶，有污染的風(fēng)險(xiǎn)，且多數(shù)都是采用單泵運(yùn)行，對(duì)精密的分子泵來(lái)說(shuō)影響較大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設(shè)備，可以有效解決上述問(wèn)題。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設(shè)備，包括：

前置結(jié)構(gòu)；

設(shè)置在所述前置結(jié)構(gòu)一側(cè)出氣口的維持結(jié)構(gòu)；

與所述維持結(jié)構(gòu)出氣口相接的精抽結(jié)構(gòu)；

分別與所述前置結(jié)構(gòu)、精抽結(jié)構(gòu)相通的主管道；

若干與所述主管道連接的氣瓶；

用于容置所述氣瓶的加熱箱；

可編程控制器，分別與所述前置結(jié)構(gòu)、維持結(jié)構(gòu)、精抽結(jié)構(gòu)、氣瓶上的控制元件電連接。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述前置結(jié)構(gòu)包括前級(jí)泵，鎖固在所述前級(jí)泵一側(cè)的粗抽閥，一側(cè)與所述粗抽閥相接、另一側(cè)與所述主管道相接的粗抽管。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述維持結(jié)構(gòu)包括一與所述前級(jí)泵另一側(cè)連接的維持閥，一側(cè)與所述維持閥連接、另一側(cè)與所述精抽結(jié)構(gòu)連接的維持管。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述精抽結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述主管道上的分子泵，以及嵌裝在所述分子泵與主管道之間的閘閥。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述主管道包括有若干與所述氣瓶對(duì)應(yīng)設(shè)置的連通管，以及若干設(shè)置在所述連通管上的控制閥。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述主管道還包括連接在其管路上的破空閥。

作為進(jìn)一步改進(jìn)的，所述主管道還包括連接在其管路上的真空計(jì)。

本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置的加熱箱與可編程控制器，能夠通過(guò)提前編程、自動(dòng)控制的方式對(duì)各個(gè)分支部分進(jìn)行自動(dòng)化控制，只需人工干涉少許步驟，對(duì)工人來(lái)說(shuō)要求較低，不需要記住繁瑣的操作流程，且運(yùn)用加熱箱的加熱方式，使在氣瓶沖氮?dú)鈺r(shí)對(duì)其加熱，其內(nèi)的水份、余液均能被快速蒸發(fā)帶出，氣瓶?jī)?nèi)可填充條件更佳。