[實用新型]一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備有效
| 申請號： | 202220194614.8 | 申請日： | 2022-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN216743826U | 公開（公告）日： | 2022-06-14 |
| 發明（設計）人： | 陳銘樞;張龍河;吳春林 | 申請（專利權）人： | 廈門華瀚機電有限公司 |
| 主分類號： | F17C7/00 | 分類號： | F17C7/00;F17C13/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 高巍 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市思明區*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 純度 抽空 分子 真空設備 | ||
1.一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，包括：
前置結構(1)；
設置在所述前置結構(1)一側出氣口的維持結構(2)；
與所述維持結構(2)出氣口相接的精抽結構(3)；
分別與所述前置結構(1)、精抽結構(3)相通的主管道(4)；
若干與所述主管道(4)連接的氣瓶(5)；
用于容置所述氣瓶(5)的加熱箱(6)；
可編程控制器(7)，分別與所述前置結構(1)、維持結構(2)、精抽結構(3)、氣瓶(5)上的控制元件電連接。
2.根據權利要求1所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述前置結構(1)包括前級泵(11)，鎖固在所述前級泵(11)一側的粗抽閥(12)，一側與所述粗抽閥(12)相接、另一側與所述主管道(4)相接的粗抽管(13)。
3.根據權利要求2所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述維持結構(2)包括一與所述前級泵(11)另一側連接的維持閥(21)，一側與所述維持閥(21)連接、另一側與所述精抽結構(3)連接的維持管(22)。
4.根據權利要求2所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述精抽結構(3)包括設置在所述主管道(4)上的分子泵(31)，以及嵌裝在所述分子泵(31)與主管道(4)之間的閘閥(32)。
5.根據權利要求3所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述主管道(4)包括有若干與所述氣瓶(5)對應設置的連通管(41)，以及若干設置在所述連通管(41)上的控制閥(42)。
6.根據權利要求5所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述主管道(4)還包括連接在其管路上的破空閥(43)。
7.根據權利要求5所述的一種用于高純度氣瓶抽空的分子泵真空設備，其特征在于，所述主管道(4)還包括連接在其管路上的真空計(44)。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廈門華瀚機電有限公司，未經廈門華瀚機電有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202220194614.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種兒童壺壺蓋的封口裝置
- 下一篇：一種時間可調的線性模擬電壓控制電路
