[實用新型]一種自動檢測晶圓外周的光學設備

有效

• 申請號: 202220158852.3
• 申請日: 2022-01-20
• 公開（公告）號: CN216847521U
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 陳海龍
• 申請（專利權）人: 芯茂（嘉興）半導體科技有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;G01N21/01
• 代理公司: 浙江永航聯科專利代理有限公司 33304
• 代理人: 樊岑遙

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，具體涉及一種自動檢測晶圓外周的光學設備，包括工作臺和控制器，控制器固定設在工作臺的頂部，還包括旋轉機構和成像機構，旋轉機構設在工作臺的頂部以帶動晶圓旋轉，旋轉機構包括轉盤和驅動組件，轉盤通過旋轉軸可轉動的設置在工作臺的頂部，驅動組件設在工作臺的頂部，旋轉軸與驅動組件傳動連接，成像機構設在轉盤的旁側以檢測晶圓的邊緣，成像機構包括兩個圖像捕捉組件，工作臺的頂部呈豎直設有立板，兩個圖像捕捉組件呈對稱設置在立板的外壁上，驅動組件和每個圖像捕捉組件與控制器均為電性連接，本實用新型涉及的一種自動檢測晶圓外周的光學設備，能夠代替人工進行晶圓基片的邊緣輕微破損檢測，效率更高。

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，具體涉及一種自動檢測晶圓外周的光學設備。

背景技術

在進入半導體工藝之前，通過預先機械地檢查半導體襯底的外周表面和邊緣的研磨表面的碎裂等微小缺陷的存在，僅將沒有缺陷的半導體襯底晶圓提供給后續半導體工藝。

在對外周表面和邊緣進行倒角磨削之后，操作人員對磨削表面進行目視檢查，檢查磨削表面上是否存在缺陷，并且如果存在缺陷，則僅選擇良好的產品。在現有裝置中，當缺陷是微小的并且例如為約50-100微米時，通過目視檢查難以發現缺陷，并且存在限制。

在人工手持晶圓基片進行目視檢測時，由于晶圓外緣為圓形，檢測人員需要手持晶圓進行旋轉檢測，人工旋轉，角度不好調節，容易造成輕微破損處的遺漏，進而無法避免檢測死角。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種自動檢測晶圓外周的光學設備。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

提供一種自動檢測晶圓外周的光學設備，包括工作臺和控制器，控制器固定設在工作臺的頂部，

還包括旋轉機構和成像機構，旋轉機構設在工作臺的頂部以帶動晶圓旋轉，旋轉機構包括轉盤和驅動組件，轉盤通過旋轉軸可轉動的設置在工作臺的頂部，驅動組件設在工作臺的頂部，旋轉軸與驅動組件傳動連接，成像機構設在轉盤的旁側以檢測晶圓的邊緣，成像機構包括兩個圖像捕捉組件，工作臺的頂部呈豎直設有立板，兩個圖像捕捉組件呈對稱設置在立板的外壁上，驅動組件和每個圖像捕捉組件與控制器均為電性連接。

優選的，驅動組件包括驅動電機、主動輪、從動輪和皮帶，驅動電機固定設在工作臺的頂部，主動輪套設在其輸出端上，工作臺的頂部呈對稱設置有兩個立塊，兩個立塊之間插設有鉸接軸，從動輪套設在鉸接軸上，皮帶套設在主動輪和從動輪之間，主動輪小于從動輪，驅動電機與控制器電連接。

優選的，鉸接軸的外壁上套設有蝸輪，旋轉軸的外壁上固定設有蝸桿，蝸輪與蝸桿嚙合連接。

優選的，每個圖像捕捉組件均包括套筒、成像相機、透明玻璃、錐形棱鏡和激光發射器，套筒傾斜設置在立板靠近轉盤的一端外壁上，成像相機固定設在套筒的內側頂部，透明玻璃固定設在成像相機的下方，錐形棱鏡固定設在透明玻璃的底部，激光發射器設在套筒的內側底部，成像相機和激光發射器均與控制器電連接。

優選的，工作臺的底部設有儲藏室，儲藏室的敞開端上鉸接設置有兩個防護門，每個防護門的外壁上均固定設有把手。

優選的，儲藏室的外側底部呈對稱設置有四個伸縮腳，每個伸縮腳的旁側均設有萬向輪。

優選的，控制器的旁側固定設有兩個顯示器，每個顯示器均與一個成像相機電連接。

優選的，轉盤的頂部等間距設置有三個橡膠墊。

本實用新型的有益效果：