[實(shí)用新型]一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220158852.3
• 申請(qǐng)日: 2022-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216847521U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳海龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芯茂（嘉興）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/89
• 分類號(hào): G01N21/89;G01N21/01
• 代理公司: 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 33304
• 代理人: 樊岑遙

1.一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，包括工作臺(tái)(1)和控制器(2)，控制器(2)固定設(shè)在工作臺(tái)(1)的頂部，其特征在于：

還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(3)和成像機(jī)構(gòu)(4)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(3)設(shè)在工作臺(tái)(1)的頂部以帶動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(3)包括轉(zhuǎn)盤(pán)(5)和驅(qū)動(dòng)組件(6)，轉(zhuǎn)盤(pán)(5)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(7)可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在工作臺(tái)(1)的頂部，驅(qū)動(dòng)組件(6)設(shè)在工作臺(tái)(1)的頂部，旋轉(zhuǎn)軸(7)與驅(qū)動(dòng)組件(6)傳動(dòng)連接，成像機(jī)構(gòu)(4)設(shè)在轉(zhuǎn)盤(pán)(5)的旁側(cè)以檢測(cè)晶圓的邊緣，成像機(jī)構(gòu)(4)包括兩個(gè)圖像捕捉組件(8)，工作臺(tái)(1)的頂部呈豎直設(shè)有立板，兩個(gè)圖像捕捉組件(8)呈對(duì)稱設(shè)置在立板的外壁上，驅(qū)動(dòng)組件(6)和每個(gè)圖像捕捉組件(8)與控制器(2)均為電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：驅(qū)動(dòng)組件(6)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)、主動(dòng)輪(10)、從動(dòng)輪(11)和皮帶(12)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)固定設(shè)在工作臺(tái)(1)的頂部，主動(dòng)輪(10)套設(shè)在其輸出端上，工作臺(tái)(1)的頂部呈對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)立塊，兩個(gè)立塊之間插設(shè)有鉸接軸，從動(dòng)輪(11)套設(shè)在鉸接軸上，皮帶(12)套設(shè)在主動(dòng)輪(10)和從動(dòng)輪(11)之間，主動(dòng)輪(10)小于從動(dòng)輪(11)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)與控制器(2)電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：鉸接軸的外壁上套設(shè)有蝸輪(13)，旋轉(zhuǎn)軸(7)的外壁上固定設(shè)有蝸桿(14)，蝸輪(13)與蝸桿(14)嚙合連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：每個(gè)圖像捕捉組件(8)均包括套筒(15)、成像相機(jī)(16)、透明玻璃(17)、錐形棱鏡(18)和激光發(fā)射器(19)，套筒(15)傾斜設(shè)置在立板靠近轉(zhuǎn)盤(pán)(5)的一端外壁上，成像相機(jī)(16)固定設(shè)在套筒(15)的內(nèi)側(cè)頂部，透明玻璃(17)固定設(shè)在成像相機(jī)(16)的下方，錐形棱鏡(18)固定設(shè)在透明玻璃(17)的底部，激光發(fā)射器(19)設(shè)在套筒(15)的內(nèi)側(cè)底部，成像相機(jī)(16)和激光發(fā)射器(19)均與控制器(2)電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：工作臺(tái)(1)的底部設(shè)有儲(chǔ)藏室(20)，儲(chǔ)藏室(20)的敞開(kāi)端上鉸接設(shè)置有兩個(gè)防護(hù)門(mén)(21)，每個(gè)防護(hù)門(mén)(21)的外壁上均固定設(shè)有把手。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：儲(chǔ)藏室(20)的外側(cè)底部呈對(duì)稱設(shè)置有四個(gè)伸縮腳(22)，每個(gè)伸縮腳(22)的旁側(cè)均設(shè)有萬(wàn)向輪(23)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：控制器(2)的旁側(cè)固定設(shè)有兩個(gè)顯示器(24)，每個(gè)顯示器(24)均與一個(gè)成像相機(jī)(16)電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種自動(dòng)檢測(cè)晶圓外周的光學(xué)設(shè)備，其特征在于：轉(zhuǎn)盤(pán)(5)的頂部等間距設(shè)置有三個(gè)橡膠墊(25)。